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D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
Microstructure and Properties of ITO and ITO/Ag/ITO Multilayer Thin Films Prepared by D.C. Magnetron Sputtering 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.16 no.8, 2006년, pp.490 - 496  

최용락 (순천향대학교 신소재공학과) ,  김선화 (순천향대학교 신소재공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

ITO monolayer and ITO/Ag/ITO multilayer thin films are prepared by D.C. magnetron sputtering method. Ag layer was inserted for applying ITO to a flexible substrate at low temperature. Carrier concentration and carrier mobility of ITO and ITO/Ag/ITO thin films were measured, the transmittance of them...

주제어

#ITO thin film   #flexible display   #multilayer   #transmittance   #sheet resistance  

참고문헌 (22)

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