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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집, 2006 Oct. 12, 2006년, pp.51 - 55
김민환 (한국기술교육대학교 신소재공학과) , 안진형 (한국기술교육대학교 신소재공학과) , 김상호 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
ITO/Ag/AZO and AZ0/Ag/ITO multi-layer films deposited on glass substrate by RF magnetron sputtering have a much better electrical properties than ITO and AZO single-layer films. The multi-layer structure was consisted of three layers of ITO, Ag and AZO. The optimum working pressure of AZO layers dep...
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