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NTIS 바로가기한국동력기계공학회지 = Journal of the korean society for power system engineering, v.10 no.2, 2006년, pp.99 - 103
The laser interferometer has been used for measurement of the micro displacement error. Although the laser interferometer is widely accepted as a tool for measurement of motion accuracy, the set-up procedure is time-consuming because of the strict requirement on alignment between a laser head and op...
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