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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.5 no.4 = no.17, 2006년, pp.1 - 4
김정재 (한국과학기술원 기계공학과 NOM 연구실) , 최영만 (한국과학기술원 기계공학과 NOM 연구실) , 김기현 (삼성전자 메카트로닉스 연구센터) , 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과(㈜나노스코프시스템즈)) , 홍동표 (전북대학교 정밀기계공학과)
Recently, with rapid development of digital media like semiconductor and large flat panel display, the manufacturing equipment is required to have high precision over large travel range. Moreover it should have high product throughput. To achieve high product throughput, a controller should perform ...
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