[논문]초정밀 구동을 위한 6 자유도 스테이지의 설계와 모델링

문준희; 박종호; 박희재

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초정밀 구동을 위한 6 자유도 스테이지의 설계와 모델링
Design and Modeling of a 6-dof Stage for Ultra-Precision Positioning 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.26 no.6 = no.219, 2009년, pp.106 - 113

문준희 (대림대학 메카트로닉스과) , 박종호 (삼성전자) , 박희재 (서울대학교 기계항공공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

A 6-DOF precision stage was developed based on parallel kinematics structure with flexure hinges to eliminate backlash, stick-slip and friction and to minimize parasitic motion coupled with motions in the other-axis directions. For the stage, lever linkage mechanism was devised to reduce the height of system for the enhancement of horizontal stiffness. Frequency response comparison between experimental results and mathematical model extracted from dynamics of the stage was performed to identify the system parameters such as spring constants and damping coefficients of actuation modules, which cannot be calculated accurately by analytic methods owing to their complicated structures. This newly developed precision stage and its identified model will be very useful for precision positioning and control because of its high accuracy and non-coupled movement.

주제어

참고문헌 (8)

Shan, X., Kuo, S., Zhang, J. and Menq, C., "Ultra precision motion control of a multiple degrees of freedom magnetic suspension stage," IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Vol. 7, No. 1, pp. 67-78, 2002

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Gordon, C. G., "Generic Criteria for Vibration-Sensitive Equipment," Proceedings of International Society for Optical Engineering(SPIE), Vol. 1619, pp.71-85, 1991
Yao, Q., Dong, J. and Ferreira, P. M., "Design, analysis, fabrication and testing of a parallelkinematic micropositioning XY stage," International Journal of Machine & Tools Manufacture, Vol. 47, No. 6, pp. 946-961, 2007

상세보기
Park, J. H., "Development of the 6 DOF Ultra Precision Positioning System using the PZTActuators and Elastic Hinges," Ph. D Thesis for Mechanical Engineering, Seoul National University,2003
Moon, J. H., Kim, H. S. and Pahk, H. J., "Design and Modeling of a 3-DOF Precision Stage for Vibration Isolation," J. of KSPE, Vol. 24, No. 3, pp. 124-133,2007
Paros, J. M. and Weisbord, L., "How to Design Flexure Hinges," Machine Design, Vol. 37, pp. 151-156, 1965
Yong, Y. K., Lu, T. and Handley, D. C., "Review of circular flexure hinge design equations and derivation of empirical formulations," Precision Engineering, Vol. 32, No. 2, pp. 63-70, 2008

상세보기
Ljung, L., "System Identification: Theory for the User," Prentice-Hall, 1987

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