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NTIS 바로가기센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.16 no.2, 2007년, pp.126 - 131
Lee, Young-Tae (Andong National University) , Takao, Hidekuni (Toyohashi University of Technology) , Ishida, Makoto (Toyohashi University of Technology)
In this paper, we fabricated piezoresistive pressure sensor with dry etching technology which used ICP-RIE (inductively coupled plasma reactive ion etching) and etching delay technology which used SOI (silicon-on-insulator). Structure of the fabricated pressure sensor shows a square diaphragm connec...
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