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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.16 no.6, 2007년, pp.433 - 438
최혁철 (인하대학교 물리학과) , 유천열 (인하대학교 물리학과)
We fabricated thin films of Au and Ta/Au with thicknesses of 30 nm and 5 nm/30nm, respectively on Si(100) or Si(111) substrates using a dc magnetron sputtering system. Grain sizes, roughness and conductivity for Au thin films are measured as a function of the annealing temperatures. We observed that...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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Au 박막의 특성은? | 우수한 전도성과 내산화성으로 널리 사용되는 Au 박막의 전도성은 박막의 증착조건에 의해서 달라진다. 증착 조건에 의해 결정립 크기 (grain size)가 전자들의 평균자유 거리 (mean free path)보다 작아지면 결정립계 (grain boundary)에 의한 전자들의 산란이 저항의 주요 요인으로 작용하므로 박막의 전도도는 박막의 결정립 (grain)의 크기에 영향을 받게 된다. | |
얇은 박막의 경우 거친 표면이나 계면일수록 더 큰 산란으로 전기전도도가 감소되는 이유는? | 증착 조건에 의해 결정립 크기 (grain size)가 전자들의 평균자유 거리 (mean free path)보다 작아지면 결정립계 (grain boundary)에 의한 전자들의 산란이 저항의 주요 요인으로 작용하므로 박막의 전도도는 박막의 결정립 (grain)의 크기에 영향을 받게 된다. 그리고 얇은 박막은 표면과 계면의 상태에도 전자의 산란이 영향을 받기 때문에 거친 표면이나 계면일수록 더 큰 산란으로 전기전도도는 감소하게 된다. | |
Au 박막의 전도성이 증착조건에 따라 달라지는 이유는? | 우수한 전도성과 내산화성으로 널리 사용되는 Au 박막의 전도성은 박막의 증착조건에 의해서 달라진다. 증착 조건에 의해 결정립 크기 (grain size)가 전자들의 평균자유 거리 (mean free path)보다 작아지면 결정립계 (grain boundary)에 의한 전자들의 산란이 저항의 주요 요인으로 작용하므로 박막의 전도도는 박막의 결정립 (grain)의 크기에 영향을 받게 된다. 그리고 얇은 박막은 표면과 계면의 상태에도 전자의 산란이 영향을 받기 때문에 거친 표면이나 계면일수록 더 큰 산란으로 전기전도도는 감소하게 된다. |
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