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3극 전계방출 전자총의 정전기 렌즈에 의한 전자빔 거동
Electron Beam Behaviors by the Electrostatic Lens in Triode Field Emission Gun 원문보기

한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.16 no.6, 2007년, pp.163 - 167  

김충수 (서울대학교 기계항공공학과) ,  김동환 (서울산업대 기계설계자동화공학과) ,  박만진 (서울대학교 기계항공공학부) ,  장동영 (서울산업대 기계설계자동화공학과) ,  한동철 (서울대학교 기계항공공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A field emission electron gun including 3 electrodes including one cathode and two anodes is very important for high resolution electron microscope. To have functions to control the initially-emitted electron beam, two anodes act as an electrostatic lens according to equipotential lines by adjusting...

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문제 정의

  • 본 논문에서는 전기장 렌즈의 구조가 전자빔의 집속에 미치는 영향을 알아보기 위하여 전극형상, 전극거리 및 인가전압을 고려하여 렌즈를 설계하고 제작하였다. 렌즈의 성능을 분석하기 위하여 전기화학적으로 제작된 음극과 렌즈를 배치하여 고진공 시스템에서 전계방출을 유도하고 라인컬렉터(line collector)를 이용하여 방사된 전자의 전류를 선택적으로 얻음으로써 각집속도(angular beam intensity) 및 방출전자의 특성을 평가하였다.
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참고문헌 (5)

  1. Crewe, A. V., Eggenberger, D. N., Wall, J. and Welter, L. M., 1968, 'Electron gun using field emission source' Rev. of Sci. Instrum., Vol. 39, No. 4, pp. 576-583 

  2. Harker, K. J., 1960, 'Determination of electrode shapes for axially symmetric electron guns, J. Applied Physics, Vol. 31, No. 12, pp. 2165-2170 

  3. Gomer, R., 1961, Field emission and field ionization, Harvard University Press, Cambridge, pp. 47-52 

  4. Orloff, J., 1977, Hand book of charged particle optics, CRC press, NewYork, pp. 3-5 

  5. EL, A. B. and EL, J. C. J., 1970, Electron beams, lenses and optics vol. 1, Academic press, New York and London, pp. 60-65 

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