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문제 정의
- 아직 명확하게 규명되지 않은 것이 바로 이 부분이다. 상온에서 불과 수 torr 에 불과한 저 진공 상태의 증착실 분위기에서 어떤 결합력으로 이들 입자들이 치밀하게 서로 결합될 수 있는가하는 것이다. 여기에 대하여 향후 더 많은 연구가 필요하겠으나, 수십 나노 미터 이하의 극미세입자들의 거동은 서브 마이크론 이상의 입자들의 거동과 다를 것으로 예상되며, 이러한 거동의 차이가 에어로졸데포지션 코팅층의 치밀한 구조를 설명하는데 도움이 될 것으로 생각된다.
- 현재 널리 사용되는 세라믹스 코팅기술은 디스플레이 산업에서 ITO (Indium Tin Oxide) 코팅을 위한 스퍼터링을 비롯한PVD, 절삭공구의 성능과 수명 향상을 위한 CVD와 같은 두께 수 마이크로미터 이내의 박막을 제조하는 공정과 섬유기계 부품의 내마모 내식성 코팅을 위한 용사와 같이 두께운 코팅층을 제조하는 공정 등 수많은 공정들이 있다. 여기서는 상당히 최근에 개발된 코팅기술인 에어로졸 데포지션 공정에 대하여 소개한다.
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