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Temperature distribution of the circular heat source was studied by analyzing the heat transfer of the environment of the circular source for OLED. Circular nozzle source was used to fabricate thin organic layer as the organic material in it was heated, vaporized and deposited to the large size pane...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 새로운 히터구조가 기존의 히터구조에 비해 얼마나 최적의 온도조건을 유지할 수 있는지를 전산해석을 통하여 구하고자 하며, 이에따라 운전효율을 높일 수 있다는 것을 보이고자 한다.
  • 본 연구에서는 유기물 분말의 사용 효율을 높이고증착의 균일도를 높이기 위한 서큘러소스의 새로운 히터구조를 제안하였다. 전산유체해석을 한 결과 기존의히터구조보다 유기물 분말의 다양한 높이에 대해 노즐의 온도를 최적상태로 유지할 수 있어서 유기물의 증착 균일도를 증가시킬 수 있음을 알았다.

가설 설정

  • 노즐의중앙부에 큰 구멍이 있어서 대부분의 승화된 유기물이중앙부에서 나오지만 중앙의 큰 구멍 외에도 원주방향으로 여러 개의 작은 구멍을 뚫어 유기물이 넓고 고르게 기판에 증착되도록 한다. 노즐을 다공성의 물질로가정하여 열전도율을 그라파이트의 1/4로 가정하였다. 유기물이 증착되는 증착챔버의 내부는 KF 기압 정도의 고진공상태이므로 공기에 의한 전도와 대류는 거의 무시할 만하다.
  • 소비전력은 10V가 인가되었을 때 36W 이다. 열은 히터코일에 의해 균일하게 발생하는것으로 가정하였다.
  • 하우징 재질은 4겹으로 되어있어 열전도도는 아주 작다. 하우징 외벽으로부터는 상온의 주변으로 복사에 의해 열이 발산되는 것으로 가정하였다. 서큘러소스에 대한 지배방정식은 2차원 전도방정식으로 다음과 같다[6].
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