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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)알파플러스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500012641 |
과제고유번호 | 1425070563 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 진공증발원.유기발광다이오드.증착율 조절.선형증발원. |
□ 개발목표
계획
OLED 모듈생산에 적용 가능한 대용량의 5.5세대급 진공증착용 열복사 가열형 선형 진공증발원 시스템 개발
실적
OLED 모듈생산에 적용 가능한 대용량의 5.5세대급 진공증착용 열복사 가열형 선형 진공증발원 시스템 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 증착폭 : 계획(1,200mm), 실적(대상기판: 1,250 x 1,500mm)
2. Effusion-cell 용량 : 계획(5,000cc), 실적(5,000cc)
3. 최고 증발율 : 계획(30Å/s), 실적(3
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