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NTIS 바로가기주관연구기관 | 파인에바 |
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연구책임자 | 김정형 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201800035915 |
과제고유번호 | 1711033619 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | 증발증착원.선형증착원.상향식증착원.유도가열증착원.OLED. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800035915 |
1. 연차목표 : OLED 6G half용 유기물/무기물 상향식 선형 증발증착원 제품화
가. 유도가열식 상향식 증발증착원 선형화 기술개발
나. 고증착율의 증발증착 기술개발
다. 유도가열식 효율적인 시료가열 기술개발
2. 개발내용 및 결과
가. 유도가열식 상향식 증발증착원 선형화 기술개발
1) 6G half용 상향식 유기물/무기물 선형증착원 개발 완료.
2) 6G half용 상향식 유기물/무기물 증착원 시제품 제작 완료.
나. 고증착율의 증발증착 기술개발
1) 6G hal
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