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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.6 no.1 = no.18, 2007년, pp.37 - 41
윤덕원 (한양대학교 대학원) , 안강호 (한양대학교 기계공학과) , 한창수 (한양대학교 기계공학과)
Recently PZT is used in ultra precision mechanism field. PZT has a small motion range although it has a high resolution. Many methods, such as inchworm, impact driving, etc., have been applied for the expansion of the motion range.? In this study, the new actuating mechanism for rotational motion wi...
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