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제안 방법
- 따라서 이를 완화하기 위하여 PZT 구동기가 테이블에 직접 접촉하지 않고 테이블을 이송하기 위한 그림 5와 같은 구조를 고안하였다.
- 본 논문에서 테이블을 굴절힌지를 사용하여 지지할 때 발생되는 변형을 검토하여 이를 감소시킬 수 있는 구조를 제안하였으며, 이를 FEM 방법을 사용하여 변형과 진동 모드를 검토하였다. 이로써 제안된 방식이 효과적으로 사용될 수 있음을 보였으며, 이에 기초한 스테이지를 제작하였다.
- 본 연구에서는 굴절힌지와 PZT 구동기를 사용하여 초정밀 마이크로 스테이지를 설계, 제작하였다. 그러나 굴절힌지의 배치 방법과 PZT 구동기의 설치 방법에 따라서 스테이지의 테이블 부분의 변형이발생할 수 있으며, 진동의 영향을 받을 수 있다.
- 이송된다. 이 형태에 대하여 앞에서와 같이 FEM해석을 통하여 변위를 검토하였으며, 그림 6 과 7 에 보였다.
- 구조를 제안하였으며, 이를 FEM 방법을 사용하여 변형과 진동 모드를 검토하였다. 이로써 제안된 방식이 효과적으로 사용될 수 있음을 보였으며, 이에 기초한 스테이지를 제작하였다.
- 있다. 이를 검증하기 위하여 진동모드를 구하였다. FEM 패키지를 이용하여 공진 주파수를 구한 결과 5개모드의 주파수가 111.
- 그러나 굴절힌지의 배치 방법과 PZT 구동기의 설치 방법에 따라서 스테이지의 테이블 부분의 변형이발생할 수 있으며, 진동의 영향을 받을 수 있다. 이와 같은 영향을 파악하기 위하여 유한요소해석 (Finite element method)을 통하여 테비블의 변위와 변형, 고유주파수 파악하였다.
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