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논문 상세정보

투명 폴리카보네이트 보호코팅을 위한 산화알루미늄 박막

Al2O3 Coating on Transparent Polycarbonate Substrates for the Hard-coating Application

Abstract

Transparent aluminum oxide films were deposited on polycarbonate (PC) substrates by inductively coupled plasma (ICP) assisted reactive sputtering. the oxygen flow rate was regulated by controlling the target voltage with a proportional integrate derivative controller. The PC substrate was treated with plasma prior to the deposition in order to the enhance the adhesive strength of the $Al_2O_3$ film. The characteristics of hardness, structure, density, transmittance, deposition rate, surface roughness and residual stress were investigated to estimate the possibility for the hard coating.

참고문헌 (8)

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  4. H. Kim, S. J. Jung, Y. H. Han, H. Y. Lee, J. N. Kim, D. S. Jang, J. J. Lee, Thin Solid Films, submitted 
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이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. Shin, C.H. ; Sung, Y.J. ; Lim, S.Y. ; Shin, G.W. ; Jeong, C.W. ; Kim,, S.K. ; Kim, J.H. ; You, Y.Z. ; Kim, Dae-Il 2010. "A Study on the Properties of TiN Films by Using Electron Beam Irradiation" 열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, 23(1): 29~33 

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