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반도체 물류 제어 시스템을 위한 반송장비의 다중적재를 고려한 실시간 통합 디스패칭 로직
A Real Time Integrated Dispatching Logic for Semiconductor Material Flow Control Considering Multi-load Automated Material Handling System 원문보기

대한산업공학회지 = Journal of the Korean Institute of Industrial Engineers, v.34 no.3, 2008년, pp.296 - 307  

서정대 (경원대학교 산업정보시스템공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A semiconductor production system has sophisticated manufacturing operations and needs high capital investment for its expensive equipment, which warrants efficient real-time flow control for wafers. In the bay, we consider material handling equipment that can handle multiple carriers of wafers. The...

주제어

참고문헌 (19)

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