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NTIS 바로가기제어·로봇·시스템학회 논문지 = Journal of institute of control, robotics and systems, v.14 no.4, 2008년, pp.361 - 364
이근우 (순천향대학교 전자정보공학과) , 김창교 (순천향대학교 전자정보공학과)
Tips of probe card were fabricated using MEMS technology. P-type silicon wafer with
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Y. Nagasawa, S. Yamashita, M. Matsudo, "Probe needle," Tokyo Electron Yamanashi Kabushiki Kaisha, 2, 1996
L. B, Matta. F, "Membrane probe card technology," Test Conference, New Frontiers in Testing, pp. 601-607, 1998
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