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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B, v.32 no.10 = no.277, 2008년, pp.800 - 809
정승필 (고려대학교 대학원 기계공학과) , 김경태 (고려대학교 대학원 기계공학과) , 원종보 (고려대학교 대학원 기계공학과) , 권오명 (고려대학교 기계공학과) , 박승호 (홍익대학교 기계시스템디자인학과) , 최영기 (중앙대학교 기계공학과) , 이준식 (서울대학교 기계항공공학부)
Scanning Thermal Microscope (SThM) is the tool that can map out temperature or the thermal property distribution with the highest spatial resolution. Since the local temperature or the thermal property of samples is measured from the extremely small heat transferred through the nanoscale tip-sample ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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시편의 국부 온도 및 열물성의 정량적 측정이 어려운 이유는? | 1에 나타내었다. 시편의 국부 온도 및 열물성의 정량적 측정이 어려운 이유는 시편에서 발생한 열의 상당부분이 탐침 첨단과 시편 사이의 고체 접촉및 액막을 통해서가 아니라 탐침과 시편 사이의 공기를 통해 전달되기 때문이다. 따라서 공기와 캔틸레버를 통한 열전달량을 줄이는 것은 높은 계측 감도를 가지는 SThM 탐침의 설계 및 제작에 있어서 매우 중요한 문제이다. | |
탐침 첨단에 위치한 열전쌍의 디자인이 갖는 장단점은? | 그리고 탐침 첨단에 위치한 열전쌍이 피드백 레이저(feedback laser) 에 의해 가열되는 문제점 또한 측정 감도를 떨어뜨리는 요인이다. 이러한 디자인은 비교적 쉬운 탐침 제작 공정을 가지지만 국소 온도 또는 열물성 계측에는 불리하다. | |
SThM의 특징은? | SThM 은 현재 알려진 방법 중 마이크로 및 나노스케일에서의 열물성 즉 온도 및 열전도도 (thermal conductivity) 분포를 가장 높은 해상도로 계측할 수 있는 도구이다. Shi 등은 전기적으로 가열된 다중벽 탄소나노튜브(Multi wall carbon nanotube) 주변의 온도를 계측함으로써 SThM 의 공간적 해상도가 100 nm 보다 높음을 실험적으로 입증하였다. |
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Hee Hwan Roh, Joon Sik Lee, Dong Lib Kim, Jisang Park, Kyeongtae Kim, Ohmyoung Kwon, Seung Ho Park Young Ki Choi, and Arun Majumdar, 2006, "Novel nanoscale thermal property imaging technique: The 2 $\omega$ method. II. Demonstration and comparison," J. Vac. Sci. Technoi. B, Vol. 24, No. 5, pp. 2405-2411
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