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NTIS 바로가기제어·로봇·시스템학회 논문지 = Journal of institute of control, robotics and systems, v.15 no.12, 2009년, pp.1240 - 1245
The throughput characteristics of the cluster tool with dual blade robot are analyzed. Using equipment's cycle time chart of the equipment, simple analytic form of the throughput is derived. Then, several important throughput characteristics are analyzed by the throughput formula. First, utilization...
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T. L. Perkins, et aI., 'Single-wafer cluster tool perfonnance: an analysis of throughput,' IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing, vol. 7, no. 3, pp. 369-373,1994
S. V. Venkatesh, et. aI., 'A steady-state throughput analysis of cluster tools: dual-blade versus single-blade robots,' IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing, vol. 10, no. 4, pp. 418-423,1997
J. P. Hong and K. S. Lee, 'Throughput analysis of the twin chamber platfonn equipment,' Journal of the Semiconductor & Display Equipment Technology, vol. 7, no. 2, 2008
C. Chu, et al, 'A petri net method for schedulability and scheduling problems in single-ann cluster tools with wafer residency time constraints,' IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing, vol. 21, no. 2, 2008
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