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NTIS 바로가기세라미스트 = Ceramist, v.12 no.5, 2009년, pp.48 - 56
이재신 (울산대학교 첨단소재공학부) , 정성규 (울산대학교 첨단소재공학부) , 한형수 (울산대학교 첨단소재공학부) , 정연학 ((주)삼전 기술연구소) , 정순종 (한국전기연구원 에너지변환소자연구센터)
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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열처리 과정에서 발생하는 delamination의 원인은? | 이러한 열처리 과정에서 ‘delamination’이라 불리는 층간 박리가 발생할 수 있다. 층간 박리의 주된 요인은 탈지공정 동안 유기첨가물을 포함하고 있는 금속전극의 촉매반응과 동시소성 과정에서 내부전극과 세라믹 층간의 불충분한 부착력 때문이며,4,5) 또한 열 수축 특성의 부정합으로 인하여 계면에서의 미세균열들의 발생 혹은 외부전극의 납땜과 냉각과정에서의 응력 발생 등에 기인하는 것으로 알려졌다. 일반적으로 이러한 열처리 과정에서 발생한 미세균열과 내부 결함은 소성 불량을 일으키지 않더라도 제품 출하 후 사용 중에 MLCA의 성능저하와 피로 파괴의 주된 원인이 된다고 알려져 있다. | |
압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 어디에 이용되고 있는가? | 압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 정밀한 미소변위 조절과 높은 발생력 등을 요구하는 광학 스테이지, 정밀 전자기기, 자동차 연료 분사장치, 반도체 공정 장비 등과 같은 산업분야에 널리 이용되고 있으며1,2), 특히 적층형 압전 세라믹 액추에이터(multilayer ceramic actuators, MLCA)는 기존의 전자석 액추에이터에 비해 빠른 응답속도, 뛰어난 정밀제어, 저소비 전력, 무소음과 같은 장점을 가짐으로써 정밀기계 및 전자기기 분야에서 광범위하게 연구되고 있다3). | |
적층형 압전 세라믹 액추에이터의 장점은? | 압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 정밀한 미소변위 조절과 높은 발생력 등을 요구하는 광학 스테이지, 정밀 전자기기, 자동차 연료 분사장치, 반도체 공정 장비 등과 같은 산업분야에 널리 이용되고 있으며1,2), 특히 적층형 압전 세라믹 액추에이터(multilayer ceramic actuators, MLCA)는 기존의 전자석 액추에이터에 비해 빠른 응답속도, 뛰어난 정밀제어, 저소비 전력, 무소음과 같은 장점을 가짐으로써 정밀기계 및 전자기기 분야에서 광범위하게 연구되고 있다3). |
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