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문제 정의
- 간략하게 평판형 스퍼터링 시스템에 대한 시장 동향과 기술적 이슈들에 대해서 살펴보았다. 현재 국내에 공급된 LCD용 스퍼터링 시스템은 90% 이상이 외국산이면 그것도 특정 국가의 특정 업체에 한정되어 있었다.
- 마그네트론 시스템이 갖는 기본적인 문제점이 불균일도에 대한 이슈가 태양 전지용 스퍼터링에서는 고속 스퍼터링과 균일도 개선으로 나타나고 있는데 먼저 고속 스퍼터링 문제를 고찰해 보기로 한다. 스퍼터링 속도는 이론적으로 타겟 표면에 입사하는 이온의 밀도와 타겟 물질의 스퍼터링 수율, 그리고 타겟에서 기판까지의 비행 도중 가스 및 스퍼터 입자와의 충돌로 인한 손실로 결정된다.
- 그러나 UHV용 sputtering system의 경우 스퍼터 건은 거의 모두 수입에 의존하고 있고 가장 핵심적이면서도 외견상 단순해 보이는 음극 자석 배열의 경우 자기장 계산 정도 해서 균일도를 간접 예측하는 일 조차 몇몇 중견 업체만이 하고 있다. 본고에서는 디스플레이와 태양 전지용 스퍼터링 장비 시장을 중심으로 업계의 수요와 기술적 현황에 대해서 살펴보기로 한다.
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