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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.8 no.4, 2009년, pp.49 - 52
We have investigated the effect of the surface roughness of TCO substrate on the characteristics of OLED (organic light emitting diodes) devices. In order to control the surface roughness of ITO thin films, we have processed photolithography and reactive ion etching. The micro-size patterned mask wa...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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마그네트론 스퍼터링으로 증착된 ITO 박막의 장점은 무엇인가? | 특히 ITO 박막은 OLED 디바이스의 양극(anode) 용 투명전극 재료로서 사용되어 ITO 박막에 대한 연구가 활발히 진행중이다[2-3]. 이러한 ITO 박막 의 증착 방법으로는 thermal evaporation, magnetron sputtering, electron beam sputtering, chemical vapor deposition(CVD) 등이 있으며 이들 방법 중 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 ITO 박막은 높은 전기전도성과 함께 상용화를 위한 대면적 증착이 가능하고 균일도가 우수하여 가장 보편적으로 사용되어지고 있는 방법이다[4-6]. | |
ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 어떤 특성을 가지고 있는가? | ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 n-type의 전도 특성을 갖는 산화물 반도체로서 넓은 밴드갭과 함께 가시광 영역에서의 높은 투과율과 전기 전도성을 나타내기 때문에 박막형 디스플레이 분야에 널리 사용되어지고 있다[1]. 특히 ITO 박막은 OLED 디바이스의 양극(anode) 용 투명전극 재료로서 사용되어 ITO 박막에 대한 연구가 활발히 진행중이다[2-3]. | |
ITO 박막의 표면 거칠기가 커질수록 OLED 소자의 수명이 짧아지는 이유는 무엇인가? | 4) ITO 박막의 표면 거칠기가 거칠수록 OLED 소자의 수명이 짧아진다. 이는 표면 거칠기가 커짐으로 인하여 그 위에 증착되는 유기물 및 음극 물질의 열악한 step coverage 때문으로 판단된다. |
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