선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
문제 정의
- 본 연구에서는 이상과 같은 수평 습식 장비의 단점을 극복하고자 수직 습식 장비를 개발하였다. 수직 습식 장비 의 구성 은 지그를 이용하여 기 판을 수직 방향으로 고정한 후 지그 자체를 롤러에 의해 구동시키는 방식이다.
- 본 연구에서는 수평 장비의 이와 같은 문제점을 극복하기 위해서 수직 방식의 습식 설비를 개발하였다. Fig.
- 8에서 수평 패턴은 중력 방향과 직각으로 형성되어 있으며, 수직 패턴은 동일한 방향으로 형성되어 있음을 볼 수 있다. 수평 패턴과 수직 패턴에 대해서 각각 유니포미티를 측정하는 이유는 중력 방향으로 흐르는 액흐름에 대한 공정 특성 차이를 평가하고자 한 것이다. 기판 전면의 회로 패턴 폭을 측정하기 위하여 Fig.
- 본 연구에서는 BGA 현상 공정 에 적용하기 위하여 기존에 수평 습식 장비 대신 수직 습식 장비를 개발하였다. 기판을 지그에 세로로 고정하여 이송하면서 공정을 진행하는 구조를 채 택 함으로써 수평 장비 의 구조적 단점 인 기판과 롤러 사이의 충돌을 원척적으로 배제할 수 있었다.
- 이상의 연구 결과는 BGA 제조 공정 에 있어 습식 공정의 하나인 현상 공정 에 대해 수직 장비를 적용함으로써 얻을 수 있는 이점에 대한 것이다. 현상 이외의 에칭, 박리, 전처리 등 다양한 습식 공정에 대한 수직 장비의 개발 및 평가는 향후 연구 과제로 진행이 필요한 부분이다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.