최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.11 no.11, 2010년, pp.4468 - 4472
SiOC films made by the inductively coupled plasma chemical vapor deposition were researched the relationship between the dielectric constant and the chemical shift. SiOC film obtained by plasma method had the main Si-O-C bond with the molecule vibration mode in the range of
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
Y. L. Hsu, Y. K. Fang, Y. T. Chiang, T. H. Chou and F. C. N Hong, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 530, 2007.
Z. Q. Fang, B. Claflin, D.C. Look and G. C. Farlow, Journal of Electronic Materials, 36, 307, 2007.
M. S. Kim, J. H. Kim and E. K. Kim, Journal of the Korean Physical Society, 48, 1552, 2006.
P. de Rouffignac, Z. Li, and R. G. Gordon, Electrochemical and Solid State Letters, 7, G360, 2004.
P. Jakob, B. N. J. Persson, Journal of Chemical Physics, 109, 8641, 1998.
J. Heo, H. J. Kim, J. H. Han, J. W. Shon. Thin Solid Films, 2007, 515: 5035-5039.
H. Tavana, F. Simon, K. Grundke, D. Y. Kwon, M. L. Hair, A. W. Neumann, Journal of Colloid and Interface Science, 291, 497, 2005.
T. Oh, IEEE Trans. Nanotechnology, 5, 23, 2006.
R. Navamathavan and C. K. Choi, Journal of the Korean Physical Society, Vol. 48, pp. 1675-1679, 2006.
T. Oh, Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 44, pp.4103-4107, 2005.
J. Widodo, W. Lu, S. G. Mhaisalkar, L. C. Hsia, P. Y. Tan, L. Shen and K. Y. Zeng, Thin Solid Films, 462-463, 213-218, 2004.
A. Grill and D. A. Neumayer, J. Appl. Phys. Vol. 94, pp. 6697-6707,2003.
M. K. Mazumder, R. Moriyama, D. watanabe, C. Kimura, H. Aoki and T. Sugino, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 2007. 2006-2010.
L. D. Yu, S. Lei, Z. S. Dong, W. Yi, L. X. Yan and H. R. Qi, Chin. Phys. Soc. 16, 240, 2007.
M. Damayanti, J. Widodo, T. Sritharan, S. G. Mhaisalkar, W. Lu, Z. H. Gan, K. Y. Zeng and L. C. Hsia, Materials Science and Engineering B, 121, 193, 2005.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
Free Access. 출판사/학술단체 등이 허락한 무료 공개 사이트를 통해 자유로운 이용이 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.