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NTIS 바로가기설비공학논문집 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, v.22 no.11, 2010년, pp.760 - 766
Excessive heat occurs during semiconductor manufacturing process. Thus, precise control of temperature is required to maintain constant chamber-temperature and also wafer-temperature in the chamber. Compared to an industrial chiller, semiconductor chiller's power consumption is very high due to its ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 칠러의 지속적인 발전이 요구되는 목적은 무엇인가? | 국내의 반도체 산업 분야는 세계최고의 기술력과 생산력을 지니고 있으며, 각 반도체 장비 생산업체에서는 세계최고의 기술력을 유지하기 위하여 반도체 장비의 국산화를 위해 연구개발에 투자를 하고 있다. 특히 반도체 칠러는 공정의 고정밀화 대구경화 되어감에 따라 보다 더 사용자 환경에 적합한 장치의 공급을 목적으로 칠러의 지속적인 발전이 요구되고 이에 따라 다양한 기초기술 및 설계기술이 개발되어 지고 있다. | |
국내의 반도체 산업 분야의 특징은 무엇인가? | 국내의 반도체 산업 분야는 세계최고의 기술력과 생산력을 지니고 있으며, 각 반도체 장비 생산업체에서는 세계최고의 기술력을 유지하기 위하여 반도체 장비의 국산화를 위해 연구개발에 투자를 하고 있다. 특히 반도체 칠러는 공정의 고정밀화 대구경화 되어감에 따라 보다 더 사용자 환경에 적합한 장치의 공급을 목적으로 칠러의 지속적인 발전이 요구되고 이에 따라 다양한 기초기술 및 설계기술이 개발되어 지고 있다. |
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