최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.20 no.3, 2011년, pp.200 - 204
김주영 (국민대학교 물리학과) , 오환원 (국민대학교 물리학과) , 김수인 (국민대학교 물리학과) , 최성호 (국민대학교 물리학과) , 이창우 (국민대학교 물리학과)
In this paper, we deposited the tungsten carbon nitride (W-C-N; nitrogen gas flow of 2 sccm) and tungsten carbon (W-C) thin film on silicon substrate using rf magnetron sputter. Then the thin films annealed at
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
확산방지막의 개발이 필수가 된 이유는? | 반도체 소자의 지속적인 발전으로 인하여 금속 배선 공정에 필요한 배선선폭은 더욱 줄어들고 배선길이는 더욱 증가되고 있다. Cu와 Si기판 사이의 반응을 효과적으로 방지할 수 있는 확산방지막의 개발이 필수 요건이 되었다. 이 연구에서는 텅스텐(W)을 주 구성물질로 불순물인 탄소(C)와 질소(N)를 첨가한 W-C-N 확산방지막을 사용하였다[1,2]. | |
반도체 소자의 추세에 다른 금속 배선의 변화는? | 반도체 소자의 지속적인 발전으로 인하여 금속 배선 공정에 필요한 배선선폭은 더욱 줄어들고 배선길이는 더욱 증가되고 있다. Cu와 Si기판 사이의 반응을 효과적으로 방지할 수 있는 확산방지막의 개발이 필수 요건이 되었다. | |
W-C 박막과 W-C-N박막 모두 600oC까지는 Weibull modulus 값이 증가한 걸로 알 수 있는 것은? | Weibull distribution 분석 결과 W-C 박막과 W-C-N박막 모두 600oC까지는 Weibull modulus 값이 증가했다. 이는 박막이 균일하며 안정해졌다고 볼 수 있겠다. 하지만 800oC의 W-C 박막에서 탄성계수의 Weibull modulus 값이 0에 가깝게 감소하였다. |
S. I. Kim and C. W. Lee, J. Korean Phys. Soc. 55(3),995 (2009).
B. Bhushan, Handbook of micro nanotribiologypp.321-409 (1996).
I. N. Sneddon, J. Eng. Sci. 3, 47 (1965).
M. F. Doerner and W. D. Nix, J. Mater. Res. 1, 601(1986).
W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 7, 1564(1992).
D. Olteanu and L. Freeman, Quality Engineering 22,256 (2010).
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.