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NTIS 바로가기韓國軍事科學技術學會誌 = Journal of the KIMST, v.14 no.1, 2011년, pp.132 - 138
한정삼 (안동대학교) , 권순재 (안동대학교) , 고종수 (부산대학교) , 한기호 (인제대학교) , 박효환 (풍산FNS) , 이장우 (국방과학연구소)
A micromachined silicon accelerometer capable of surviving and detecting very high accelerations(up to 200,000 times the gravitational acceleration) is necessary for a high impact accelerometer for earth-penetration weapons applications. We adopted as a reference model a piezoresistive type silicon ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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구조적 안전성, 신뢰성 및 고성능을 확보하기 위한 압저항형 미소가속도계에는 무엇이 있는가? | 현재까지 이러한 목적을 위하여 다양한 형태의 압저항형 미소가속도계가 제안되었다 [1~4] . 두개의 웨이퍼가 접착된 힌지 구조 및 양단지지의 브릿지 형태를 가진 구조 [1] , 외팔보의 판 형태의 구조 [2] , 외팔보 형태의 미소가속도계에 곡면 방지면을 가진 구조[3] , 두 개의 동일한 질량을 가진 양단지지의 판 형태를 가진 구조 [4] 등이 대표적인 예이다. 그러나, 대부분의 연구에서 이러한 압저항형 미소가속도계의 압저항체에서 발생하는 출력을 단순화된 해석식으로 간략화하거나 설계시 응력 및 고유진동수와 같은 단순한 구조해 석만을 수행하여 센서의 성능 및 구조안전성을 극대화하는 데에는 한계가 있었다. | |
고충격 high-G급 압저항형 미소가속도계는 어디에 사용되는가? | 일반적으로 고충격 high-G급 압저항형 미소가속도계는 미사일, 로켓 등의 가속도 측정에 이용되며 이때, 동적 충격에 대한 정확한 가속도의 감지와 안정적인 작동을 위하여 구조적 안전성, 신뢰성 및 고성능을 필요로 한다 [1] . 현재까지 이러한 목적을 위하여 다양한 형태의 압저항형 미소가속도계가 제안되었다 [1~4] . | |
고충격 high-G급 압저항형 미소가속도계가 필요로 하는 것은? | 일반적으로 고충격 high-G급 압저항형 미소가속도계는 미사일, 로켓 등의 가속도 측정에 이용되며 이때, 동적 충격에 대한 정확한 가속도의 감지와 안정적인 작동을 위하여 구조적 안전성, 신뢰성 및 고성능을 필요로 한다 [1] . 현재까지 이러한 목적을 위하여 다양한 형태의 압저항형 미소가속도계가 제안되었다 [1~4] . |
K. Fan, L. Che, B. Xiong, and Y. Wang, "A Silicon Micromachined High-Shock Accelerometer with a Bonded Hinge Structure", J. Micromech. Microeng., Vol. 17, pp. 1206-1210, 2007.
Y. Ning, Y. Loke, and G. McKinnon, "Fabrication and Characterization of High G-Force, Silicon Piezoresistive Accelerometers", Sensors and Actuators A, Vol. 48, pp. 55-61, 1995.
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Z. Wang, D. Zong, D. Lu, B. Xiong, X. Li, and Y. Wang, "A Silicon Micromachined Shock Accelerometer with Twin-Mass-Plate Structure", Sensors and Actuators A, Vol. 107, pp. 50-56, 2003.
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X. Lou, J. Shi, W. Zhang, and Y. Jin, "Study on the Packaging Technology for a High-G MEMS Accelerometer", 7th Electronics Packaging Technology Conference, 7-9 December, 2005, Grand Copthorne Waterfront, Singapore, pp. 103-106, 2005.
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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