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NTIS 바로가기Transactions on electrical and electronic materials, v.12 no.4, 2011년, pp.144 - 147
Woo, Jong-Chang (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University) , Joo, Young-Hee (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University) , Park, Jung-Soo (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University) , Kim, Chang-Il (School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang University)
In this work, we present a study regarding the etching characteristics on titanium nitride (TiN) thin films using an inductively coupled plasma system. The TiN thin film was etched using a
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