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NTIS 바로가기한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.20 no.4, 2011년, pp.395 - 400
이정민 (조선대학교 일반대학원 첨단부품소재공학과(정밀기계설계공학)) , 김선호 (조선대학교 일반대학원 첨단부품소재공학과(정밀기계설계공학)) , 김택현 (조선대학교 기계설계공학과) , 박정우 (조선대학교 기계설계공학과)
Scanning Probe Lithography is a method to localized oxidation on single crystal silicon wafer surface. This study demonstrates nanometer scale non contact lithography process on (100) silicon (p-type) wafer surface using AFM(Atomic force microscope) apparatuses and pulse controlling methods. AFM-bas...
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