최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.10 no.2, 2011년, pp.109 - 113
홍주표 (한국기술교육대학교 디자인공학과) , 임기섭 (한국기술교육대학교 대학원 디자인공학과) , 윤종국 (엠파워(주))
Hot air flow simulations of the wet station dryer module for the solar cell cleaning were conducted. Air incident angles such as to the substrates (
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
웨이퍼 건조는 무슨 단계인가? | 한편, 웨이퍼 건조는 오염물질을 성공적으로 제거하기 위한 세정공정의 가장 중요한 마지막 단계이다. 물이 찌꺼기를 웨이퍼 표면에 그대로 남겨 두고 증발하기 전에 강제적으로 물기를 제거하여야만 하며, 일반적인 건조 방법으로는 원심분리, 증기건조(vapor drying), 고온물 건조 등이 있다[2]. | |
웨이퍼 건조에는 일반적으로 어떤 방법이 있는가? | 한편, 웨이퍼 건조는 오염물질을 성공적으로 제거하기 위한 세정공정의 가장 중요한 마지막 단계이다. 물이 찌꺼기를 웨이퍼 표면에 그대로 남겨 두고 증발하기 전에 강제적으로 물기를 제거하여야만 하며, 일반적인 건조 방법으로는 원심분리, 증기건조(vapor drying), 고온물 건조 등이 있다[2]. | |
세정공정이란? | 세정공정은 반도체, 디스플레이, 태양전지, 광반도체 제조공정에 있어 주요 공정의 전처리 공정으로 많이 사용되며 제품 성능 및 신뢰성에 직접적인 영향을 미치게 된다. 태양전지 제조공정에서는 웨이퍼 절단 결함및 표면 손상 제거(sawing damage removal, SDR) 목적으로 식각(etching) 및 표면 조직화(texturing) 공정 전에 실시한다. |
홍주표, 김구경, 최현철, 김영균, "태양전지 세정모듈 유동해석", 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회, p.199, 2011.
이준신, 김경해, 태양전지공학, 도서출판 그린, p.114, 2009.
R. Payri, X. Margot, and F.J. Salvador, "A Numerical Study of the Influence of Diesel Nozzle Geometry on the Inner Cavitating Flow," SAE 2002 World Congress and Exhibition, 2002-01-0215.
A. Tomiyama and N. Shimada, "A Numerical Method for Bubbly Flow Simulation Based on a Multi-Fluid Model," J. Pressure Vessel Technol., Vol.123, No.4, pp.510-516, 2001.
S. Roy, R. Raju, H.F.Chuang, B.A.Cruden, and M. Meyyappan, "Modeling gas flow through microchannels and nanopores," J. Applied Physics, Vol.93, pp.4870-4879, 2003.
Solidworks Flow Simulation 2010 Technical Reference.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.