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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.2, 2012년, pp.1 - 6
조찬섭 (경북대학교 산업전자전기공학부) , 윤성호 ((주)울택) , 김봉환 (대구가톨릭대학교 전자공학과) , 김광태 (경북대학교 산업전자전기공학부) , 정영철 (경주대학교 컴퓨터정보공학과) , 이종현 (경북대학교 전자공학부)
In this study, a high performance rotary magnet type magnetron source for roll-to-roll sputter system has been developed. We analyzed the density of magnetic field as a function of size variation of the magnet which are in the center and edge of the target. The target efficiency showed the best resu...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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마그네트론 소스는 어떻게 나뉘는가? | 터치패널(touch panel), 플랙시블 디스플레이(flexible display), 유기 태양전지 및 에너지 소자의 기술적인 진보는 스퍼터링 시스템에 대한 중요성을 더욱 증가시키고 있으며, 특히 저가격과 대량생산을 위한 대면적 스퍼터 시스템에 대한 관심이 높아지고 있다[1-4]. 금속/ 비금속 박막, 투명전극 박막의 증착을 위해서 사용되는 스퍼터 시스템에 있어 증착원으로 사용되는 마그네트론 소스는 스퍼터 시스템의 핵심 부분으로 크게 평판형 마그네트론 소스, 회전형 마그네트론 소스, 회전원 통형 마그네트론 소스로 나눌 수 있다[5-9]. 평판형 마그네트론 소스는[5,6] 고정형 타겟과 고정형 자석단이 평면인 형태로 구성되어 있으며, 고정형 타겟은 반도체 등에 사용되는 원형의 타겟과 일반 산업용에 많이 적용되는 사각형태인 대면적용의 타겟으로 나누어질 수있다. | |
회전형 마그네트론 소스의 구성은? | 회전형 마그네트론 소스는[7,8] 고정된 타겟에서 회전하는 자석단이 원형을 포함하는 타겟의 중심축에서 수평방향으로 회전하는 형태로 구성되어 있다. 자석단을 회전시킴으로써 타겟의 침식 영역이 고정형 자석단으로 구성된 마그네트론 보다는 확대되어 타겟의 효율 적인 사용과 증착되는 막의 균일성을 높일 수 있도록 구성되어 있다. 하지만, 이와 같은 방법은 타겟의 수평 방향으로 국부적인 공간에서 회전이 일어나므로 대면적 타겟에는 적합하지 않은 단점이 있다. | |
무엇이 스퍼터링 시스템에 대한 중요성을 더욱 증가시키고 있는가? | 터치패널(touch panel), 플랙시블 디스플레이(flexible display), 유기 태양전지 및 에너지 소자의 기술적인 진보는 스퍼터링 시스템에 대한 중요성을 더욱 증가시키고 있으며, 특히 저가격과 대량생산을 위한 대면적 스퍼터 시스템에 대한 관심이 높아지고 있다[1-4]. 금속/ 비금속 박막, 투명전극 박막의 증착을 위해서 사용되는 스퍼터 시스템에 있어 증착원으로 사용되는 마그네트론 소스는 스퍼터 시스템의 핵심 부분으로 크게 평판형 마그네트론 소스, 회전형 마그네트론 소스, 회전원 통형 마그네트론 소스로 나눌 수 있다[5-9]. |
J. Herrero and, C. Guillen, "Transparent films on polymers for photovoltaic applications," Vacuum, Vol. 67, pp. 611-.616, 2002.
C. Guillen and J. Herrero, "Comparison study of ITO thin films deposited by sputtering at room temperature onto polymer and glass substrates," Thin Solid Films Vol. 480-481, pp. 129-132, 2005.
John Fahlteich, et al., "Permeation barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates," Thin Solid Films, Vol. 517, Issue 10, pp. 3075-3080, 2009.
K. H. Choia, et al., "Characteristics of flexible indium tin oxide electrode grown by continuous roll-to-roll sputtering process for flexible organic solar cells," Solar Energy Materials and Solar Cells, Vol. 93, Issue 8, pp. 1248-1255, 2009.
J. T. Hawton, Jr. et al,, U.S. Patent 4,179,351, Dec. 18, 1979.
J. N. W. Parker et al,, U.S. Patent 5,242,566, Sep. 7, 1993.
Anderson et al., U.S. Patent 4,995,958, Feb.26, 1991.
Harra et al., US 5,417,833 May 23, 1995.
디보스체르윌머트, 한국특허등록 10-0570334, 2006 년 4 월.
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