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반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.2, 2012년, pp.33 - 38
안태길 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) , 임재철 (한국지엠주식회사 구조강성시험팀) , 김성근 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) , 김국원 (순천향대학교 공과대학 기계공학과)
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The wafer positioning robot in the semiconductor industry is required to operate at high speed for the improvement of productivity. The residual vibration caused by the high speed of the wafer positioning robot, however, makes the life of the robot shorter and the cycle time longer. In this study, t...
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 웨이퍼 이송로봇이란? | 본 연구에서는 Singer[1]의 입력성형 기법을 이용하여 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 이송로봇을 대상으로 잔류진동을 저감시키는 연구를 수행하였다. 웨이퍼 이송로봇은 고속동작과 정밀 위치제어가 동시에 필요한 대표적인 로봇이다. 잔류진동은 저속으로 작동할 때는 발생하지 않으나 고속의 응답을 얻기 위하여 제어기의 이득을 크게 하고 계단입력 등 급격한 입력을 가하는 경우, 진동이 발생하여 다음 동작을 하기 위해 정지해 있는 시간을 기준 값 이하로 줄일 수가 없게 된다. | |
| 입력성형 기법을 적용한 연구들은 어떠한 목적으로 이루어졌는가? | 지금까지 잔류진동을 저감시키기 위해 입력성형 기법을 적용한 연구가 많이 있었다[1-7]. 그러나 입력성형 기법에 대한 이론적인 연구는 많이 이루어졌지만, 실제 로봇에 적용한 예는 적은 편이며 실험적인 적용일지라도, 대부분 특수 제작한 로봇에 적용한 것이 다수이다. |
Singer, N.C. and Seering, W.P., "Preshaping Command Inputs to Reduce System Vibration," ASME Journal of Dynamic System, Measurement and Control, Vol. 112, pp. 76-82, 1990.
Singh, T. and Vadali, S.R., "Robust Time Delay Control," ASME Journal of Dynamic System, Measurement and Control, Vol. 115, pp. 303-306, 1993.
Kim, M., Yun, S. and Kang, S., "Safe Design and Vibration Control of a Manipulator with Passive Compliant Joints," 2nd International Conference on Autonomous Robots and Agents, December 13-15, 2004.
박주이, 장평훈, "입력 다듬기기법을 이용한 유연관절을 갖는 로봇의 잔류진동 제거," 대한기계학회논문집 제 11 권, pp. 3066-3074, 1994.
이지형, 이재원, 주해효, "성형입력에 의한 유연한 로봇의 잔류진동 제어," 한국자동제어학술회의논문집, pp. 603-607, 1994.
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