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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집, 2005 Nov. 01, 2005년, pp.559 - 563
임재철 (호서대학교 일반대학원 기계공학과) , 안태길 (호서대학교 자동차공학과) , 조중근 (세메스(주) 연구소)
The wafer positioning robot used in the semiconductor industry is required to operate at high speed for the improvement of productivity. However, the residual vibration produced by the high speed of the wafer positioning robot makes the life of the robot shorter and the cycle time longer. In this st...
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