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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.4, 2012년, pp.31 - 36
양홍천 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) , 이영남 (한국기술교육대학교 대학원 산업기술공학과) , 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)
The high thrust of the linear motor in the exposer generates the high temperature heat by the friction and the electromagnetic forces on its coil. It can cause the thermal deformation and the accuracy of the equipment is finally decreased which has a bad effect on the productivity. In this research,...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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추력이 증가하면 어떤 현상이 발생하는가? | LCD 패널의 제조 공정 중 노광 장비에는 정밀도가 높은 리니어 모터를 사용하고 있고, 패널의 크기가 증가함에 따라 고추력이 요구된다. 그러나 요구되는 추력이 증가함에 따라 리니어 모터의 마그네틱 코일에서 마찰이나 전자기력에 의한 고온의 열이 발생하게 된다. 이런 환경에서 장비를 장시간 동안 운전한 경우 이 때 축적된 열이 다른 부품의 온도 상승 및 열변형을 야기하고, 결과적으로는 열변형으로 인한 장비의 정밀도가 감소하게 되어 생산성에 있어서 악영향을 미치게 된다[1-3]. | |
노광 장비에 요구되는 성능은 무엇인가? | 반도체 산업 발전에 따라 TFT-LCD 패널의 크기나 해상도가 다양해지며, 양산을 위한 패널의 대형화 또한 진행되고 있는 추세이다. LCD 패널의 제조 공정 중 노광 장비에는 정밀도가 높은 리니어 모터를 사용하고 있고, 패널의 크기가 증가함에 따라 고추력이 요구된다. 그러나 요구되는 추력이 증가함에 따라 리니어 모터의 마그네틱 코일에서 마찰이나 전자기력에 의한 고온의 열이 발생하게 된다. | |
고온의 열 환경에서 장시간 운전한 경우 어떤 문제가 야기되는가? | 그러나 요구되는 추력이 증가함에 따라 리니어 모터의 마그네틱 코일에서 마찰이나 전자기력에 의한 고온의 열이 발생하게 된다. 이런 환경에서 장비를 장시간 동안 운전한 경우 이 때 축적된 열이 다른 부품의 온도 상승 및 열변형을 야기하고, 결과적으로는 열변형으로 인한 장비의 정밀도가 감소하게 되어 생산성에 있어서 악영향을 미치게 된다[1-3]. 따라서 본 연구에서는 노광 장비의 리니어 모터의 구동부에 대한 열유동 해석을 수행하였고, 현재 사용 중인 비접촉 액체 냉매 방식의 냉각 성능에 대한 수치해석 데이터를 확보 및 신뢰성 검증을 하였다. |
Muramatsu, A., Nakamura, S., Yoneyama, H., and Iwasaki, O., 1994, "Heat conduction Analysis for Motor Integrated Spindle." NSK Technical Journal, No. 658, pp. 32-39
박보현, TFT-LCD 시장 동향 및 국내 현황, 정보 통신산업진흥원, 정보통신연구진흥원 학술정보 주간기술동향 1254 호
Kwak, G. H. 2007, "Economic impact analysis using industrial subsectors exposure machine", Korea Institute of Machinery & Materials.
Suhas V. Patankar(1980), Numerical Heat Transfer and Fluid Flow, McGrow-Hill Book Company.
CD-adapco(2011), STAR-CCM UserGuide ver. 6.04.
Yunus A. Cangel(2003), HEAT TRANSFER: A PRACTICAL APPROACH, McGrow-Hill Book Company
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