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소프트 리소그래피 기술 동향
Trends of Soft Lithography Technology
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한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.20 no.4 = no.145, 2003년, pp.5 - 11
신영재 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) , 조정대 (한국기계연구원 첨단산업기술연구부) , 이응숙 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)
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