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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.21 no.2, 2012년, pp.78 - 85
최성창 (송도테크노파크 융복합기술지원센터)
In order to improve the adhesion between poly-monochloro-para-xylylene (Parylene-C) film and Aluminum thin film, the surface of Parylene-C film was irradiated by
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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duoplasmatron 방식의 이온원이 실제 이온빔 개질에 더 유리한 이유는 무엇인가? | 3은 냉음극 이온원 중 가장 널리 사용되는 magnetron 방식과 duoplasmatron 방식의 이온원의 개략도이다. Duoplasmatron 방식은 이온이 인출되는 anode cavity의 자기장이 magnetron 방식에서 이온이 인출되는 영역인 cathode cavity 영역의 자기장에 비하여 약하기 때문에 균일한 대면적 이온빔을 형성할 수 있다는 장점이 있다 [13]. 따라서 duoplasmatron 방식의 이온원이 실제 이온빔 개질에 더 유리하다. | |
Duoplasmatron 이온원을 이용하는 이유는 무엇인가? | Poly-Monochloro-Para-Xylylene (Parylene-C)과 알루미늄 박막과의 접착력을 향상시키기 위하여 Duoplasmatron 이온원을 이용하여 발생시킨 아르곤 이온과 산소 이온을 Parylene-C 표면에 각각 조사하였다. 이온조사 시 이온에너지는 1 kV로 고정하였고 이온조사량은 $5{\times}10^{14}$에서 $1{\times}10^{17}/cm^2$까지 변화시켰다. | |
Poly (p-xylylene) polymers의 특징은 무엇인가? | Poly (p-xylylene) polymers (Parylene)는 1970년대 미국에서 개발된 고분자로 다른 고분자막에 비해 습기 투과율이 낮아 내부식성이 우수하고 화학적으로 매우 안정하여 산이나 염기에 강하여 보호막으로 널리 사용되어져 왔다 [1]. 또한 Parylene은 요철면을 따라 균일하고 핀홀이 없는 코팅막을 형성할 수 있어 MEMS (Micro electro mechanical system) 분야에서 폭넓게 활용되고 있으며 [2], 저유전체 특성으로 인하여 반도체 공정에서도 절연체로 연구개발이 진행되어지고 있다 [3]. |
K. G. Pruden, K. Sinclair, and S. Beaudoin, J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem. 41, 1486 (2003).
S. W. Youn, H. Goto, M. Takahashi, M. Ogiwara, and R. Maeda, Key Engineering Materials 340-341, 931 (2007).
J. A. Moore, C. I. Lang, T. M. Lu, and G. R. Yang, Polym. Mater. Sci. Eng. Biomaterials 72, 437 (1995).
E. Delivopoulos, A. F. Murray, N. K. MacLeod, and J. C. Curtis, Biomaterials 30, 2048 (2009).
D. Martini, K. Shepherd, R. Sutcliffe, J. Kelber, H. Edwards, and R. S. Martin, Applied Surface Science 141, 89 (1999).
S. Selvarasah, S. H. Chao, C. L. Chen, S. Sridhar, A. Busnaina, A. Khademhosseini, and M. R. Dokmeci, Sensor & Actuators A 145-146, 306 (2008).
I. Mathieson and R. H. Bradley, Inter. J. Adhesion & Adhesive 16, 29 (1996).
Y. H. Ham, D. A. Shutov, K. H. Baek, L. M. Do, K. S. Kim, C. W. Lee, and K. H. Kwon, Thin Solid Films 518, 6378 (2010).
S. K. Koh, S. C. Choi, S. Han, J. Cho, W. K. Choi, H. -J. Jung, and H. H. Hur, Key Eng. Materials 137, 107 (1998)
J. W. Seok, S. C. Choi, H. G. Jang, H. -J. Jung, W. K. Choi, and S. K. Koh, J. Korean Vacuum Soc. 6, 200 (1997).
S. C. Choi, S. Han, W. K. Choi, H. -J. Jung, and S. K. Koh, Nucl. Instrum. Methods. B 152, 291-300 (1999).
N. V. Gavrilov, G. A. Mesyats, G. V. Radkovski, and V. V. Bersenev, Surface & Coatings Technol. 96, 81 (1997.)
D. K. Owens and R. C. Wendt, J. Appl. Polym. Sci. 13, 1741 (1969).
V. Santucci, F. Maury, and F. Senocq, Thin Solid Films 518, 1675 (2010).
J. W. Seong, K. W. Kim, Y. W. Beag, S. K. Koh, K. H. Yoon, and J. H. Lee, Thin Solid Films 476, 386 (2005).
T. Y. Chang, V. G. Yadav, S. D. Leo, A. Mohedas, B. Rajalingam, C. L. Chen, S. Selvarasah, and M. R. Dokmeci, A. Khademhosseini, Langmuir 23, 11718 (2007).
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