$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

스퍼터용 플라즈마 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대한 연구
A Study on Energy Recovery Circuit in Sputtering Plasma Power supply for arc Discharge Prevention 원문보기

전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P, v.61 no.3, 2012년, pp.116 - 121  

반정현 (인천대 공대 전기공학과) ,  한희민 (인천대 공대 전기공학과) ,  김준석 (인천대 공대 전기공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Recently, in the field of renewable energy such as solar cells including the semiconductor and display industries, thin film deposition process is being diversified. Furthermore, to deal with trend of making high-quality and fast, the high-capacity and output plasma power supply which can control hi...

주제어

#Arc discharge   #Magnetron sputtering   #Plasma power supply  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구에서는 스퍼터용 펄스 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대하여 연구하였다. 회생회로를 이용함으로써 트랜스포머의 인덕턴스 및 사이즈를 크게 줄이면서 출력전압의 왜곡을 막고 안정된 출력 파형을 얻을 수 있다.
  • 본 연구에서는 트랜스포머를 사용하는 (-)전압 인가회로를 기준으로 에너지회생장치를 이용하여 아주 작은 상호 인덕턴스를 갖더라도 출력전압의 변동이 거의 없이 안정적인 출력을 얻을 수 있는 새로운 형태의 스퍼터용 플라즈마 전원장치에 대하여 연구를 진행하였다.
  • 본 연구에서는 트랜스포머의 인덕턴스 및 사이즈를 획기적으로 줄이기 위해 트랜스포머에 축적된 자기에너지를 전원에 반환하는 형태의 새로운 DC 스퍼터 전원장치를 제안한다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
스퍼터링이란 무엇인가? 스퍼터링은(sputtering)은 진공을 이용하여 이루어지는 대표적인 물리증착(Physical Vapor Deposition; PVD) 기술의 하나이며 재현성이 우수하며 사용이 편리하여 그 응용이 점차 확대되고 있다.
코팅 공정에서 가장 문제되는 현상은 무엇인가? 코팅 공정에서 가장 문제가 되는 것은 고압의 플라즈마 발생장치를 사용함으로써 야기되는 아크현상이라 할 수 있다. 플라즈마 스퍼터 시스템에서 아크가 발생할 경우 부하측으로 과도한 아크에너지가 전가되며, 아크에너지가 클 경우 불필요한 불순물(Particle)을 발생시켜서 피코팅물(Substrate)에 증착됨으로써 박막제품의 불량을 발생시킨다.
아크현상은 어떤 문제를 야기하는가? 코팅 공정에서 가장 문제가 되는 것은 고압의 플라즈마 발생장치를 사용함으로써 야기되는 아크현상이라 할 수 있다. 플라즈마 스퍼터 시스템에서 아크가 발생할 경우 부하측으로 과도한 아크에너지가 전가되며, 아크에너지가 클 경우 불필요한 불순물(Particle)을 발생시켜서 피코팅물(Substrate)에 증착됨으로써 박막제품의 불량을 발생시킨다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (4)

  1. Geoffrey N. Drummond, Richard A.Scholl "ENHAVCED REACTIVE DC SPUTTERING SYSTEM" U. S. Patent 5,718,813, Feb. 17, 1998 

  2. Noborn Kuriyama, Yutaka Yatsu "POWER SUPPLY UNIT FOR SPUTTERING DEVICE" U. S. Patent 6,416,638 B1 , Jul, 9, 2002 

  3. J. Sellers, "Asymmetric bipolar pulsed DC: Theenabling technology for reactive PVD," Surface and Coatings Technology. vol. 98, no. 1, pp. 1245-1250(6), January 1998. 

    상세보기 crossref

  4. Weerasak Somkhunthot "Bipolar Pulsed-DC Power Supply for Magnetron Sputtering and Thin Films Synthesis"Faculty of Electrical Engineering Universiti Teknologi Malaysia Vol. 9, no. 2, pp20-26 

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로