초록

일 실시예에 의하여, 본 발명에서는 PVD 코팅 방법 및 코팅 장치를 제공하며, 특히, 코팅기의 규모가 커도 균일하게 코팅을 할 수 있고, 서로 상이한 소재의 코팅층을 연속으로 증착시킬 수 있는 PVD 코팅 방법 및 코팅 장치를 제공함에 특징이 있다.

대표청구항 ▼

PVD 코팅을 수행하는 방법에 있어서, 진공 챔버를 내부로 코팅 대상물을 안착시키는 공정;상기 진공 챔버 내부에 안착된 코팅 대상물을 전자기력으로 부양하는 공정;상기 부양된 코팅 대상물을 600~650℃에서 3~4시간 동안 가열하여, 아연(Zn) 증기 또는 합금 성분의 아연(Zn)-마그네슘(Mg) 증기를 포함하는 증착 증기를 생성하는 가열 공정;상기 코팅 대상물을 가열하는 수단의 내부에 장착된 코팅액 공급관을 이용하여 증착 증기 유도 수단으로 코팅액을 공급하는 공정;상기 공급받은 코팅액과 상기 증착 증기를 혼합하여 증착 혼합용액을

PVD 코팅을 수행하는 방법에 있어서, 진공 챔버를 내부로 코팅 대상물을 안착시키는 공정;상기 진공 챔버 내부에 안착된 코팅 대상물을 전자기력으로 부양하는 공정;상기 부양된 코팅 대상물을 600~650℃에서 3~4시간 동안 가열하여, 아연(Zn) 증기 또는 합금 성분의 아연(Zn)-마그네슘(Mg) 증기를 포함하는 증착 증기를 생성하는 가열 공정;상기 코팅 대상물을 가열하는 수단의 내부에 장착된 코팅액 공급관을 이용하여 증착 증기 유도 수단으로 코팅액을 공급하는 공정;상기 공급받은 코팅액과 상기 증착 증기를 혼합하여 증착 혼합용액을 생성하는 공정;상기 코팅 대상물의 폭에 대응하여 형성된 분사구를 통해 상기 증착 혼합용액을 분사하여, 상기 코팅 대상물에 제 1 코팅층을 증착하는 공정; 상기 제 1 코팅층이 증착된 코팅 대상물을 10~15℃에서 1~2시간 동안 건조시키는 공정;상기 건조된 코팅 대상물에 적어도 두 층 이상의 다중층을 포함하는 제 2 코팅층을 0.35 ~ 6 ㎛ 의 두께로 증착하는 공정;상기 제 2 코팅층은 동일한 화학적 조성을 갖지만, 평균 결정립폭(w1 및 w2) 이 서로 상이한 제 1 층 및 제 2층으로 이루어지며, 상기 제 1 층은 2 < w1 < 50 nm 의 미세립이고, 상기 제 2 층은 30 < w2 < 500 nm 의 조립이고, w2/w1 > 2 이고, 상기 제 1 층의 두께는 0.03 ~ 0.14 ㎛ 이고 각각의 2 층의 두께는 0.3 ~ 4 ㎛ 인 것을 특징으로 하는, PVD 코팅 방법.