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문제 정의
- PVT법은 수십 년간 많은 기술 축적이 이루어져 상용화된 기술이지만 태생적으로 많은 문제점을 내포하고 있어 최근에는 차세대 SiC 성장기술에 대한 연구도 활발히 진행되고 있다. 따라서 본 글에서는 차세대 SiC 성장기술에 대한 특징을 살펴보고 최근의 기술개발 동향을 살펴보기로 한다.
- 본 원고는 차세대 SiC 단결정 성장기술의 면면을 살펴보는 것이 목적이지만 차세대 SiC 단결정 성장기술은 현재의 상용기술 (PVT법)의 단점을 극복하고자 제안된 기술이므로다른글과의중복을무릅쓰고먼저PVT법의특징을 설명하도록 한다. 개량렐리법 (Modified Lely method)이라고도불리는PVT법은1978년Tairov등이제안하고3) 미국의 Cree사가 기술개발을 견인하여 현재 전 세계 수십개 기업에서 SiC 단결정성장기술로 활용하고 있다.
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