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반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.12 no.2, 2013년, pp.33 - 37
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In this study, we have investigated the effect of the substrate temperature and hydrogen flow rate on the characteristics of IZO thin films for the organic light emitting diodes (OLED) devices. For this purpose, IZO thin films were deposited by RF magnetron sputtering at room temperature and
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 디스플레이 산업은 무엇에 대한 투자와 연구가 집중되고 있는가? | 현재의 디스플레이 산업은 LCD, PDP, FED, OLED 등의 각종 평판 디스플레이 (FPD, Flat Panel Display) 의 개발에 많은 투자와 연구가 집중되고 있으며, 최근에는 유연 디스플레이 (flexible Display)의 개발에 까지 그 영역을 넓히고 있다. 이에 따라 각종 디스플레이 소자의 공통 기반기술인 고품위 투명 전도성 산화물 (TCO : Transparent Conducting Oxide) 박막 재료의 개발 및 제조 기술들에 대한 연구가 급속히 증가하고 있다[1-3]. | |
| 디스플레이 산업의 영역이 넓어짐에 따라 어떤 재료의 개발 및 제조기술들에 대한 연구가 증가하고 있는가? | 현재의 디스플레이 산업은 LCD, PDP, FED, OLED 등의 각종 평판 디스플레이 (FPD, Flat Panel Display) 의 개발에 많은 투자와 연구가 집중되고 있으며, 최근에는 유연 디스플레이 (flexible Display)의 개발에 까지 그 영역을 넓히고 있다. 이에 따라 각종 디스플레이 소자의 공통 기반기술인 고품위 투명 전도성 산화물 (TCO : Transparent Conducting Oxide) 박막 재료의 개발 및 제조 기술들에 대한 연구가 급속히 증가하고 있다[1-3]. | |
| 투명 전도성 산화물 박막 중 가장 널리 사용되고 있는 물질은? | 이러한 투명 전도성 산화물 박막 중 가장 널리 사용 되고 있는 물질인 ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 ntype의 전도특성을 갖는 산화물 반도체로서 넓은 밴드 갭과 함께 가시광 영역에서의 높은 투과율과 전기전도 성을 나타낸다[4,5]. 그러나 ITO 박막이 높은 전기 전도특성과 광투과율을 얻기 위해서는 250 이상의 고온 증착이 요구되며 300 이상에서 증착 후 열처리를 해야만 한다. |
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