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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.26 no.3, 2013년, pp.194 - 197
We investigated the effect of etching time on the surface roughness, and electrical and optical properties of ZnO and 2 wt% Al-doped ZnO (AZO) films. The ZnO and AZO films were deposited on glass substrates by RF magnetron sputtering technique. The etching experiment was carried out using a solution...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 문제점은? | 8 eV), 높은 투과율 (>90%),우수한 에칭 성능 등의 장점을 갖고 있는 ITO(Indium Tin Oxide) 박막이 가장 널리 이용되고 있다[4]. 그러나 이러한 장점에도 불구하고 ITO는 고온 공정 시 In과 Sn이 환원되는 열․화학적 불안정성을 갖고 있고, 화합물의 주 구성원소인 In과 Sn의 희귀성으로 인해 매우 고가의 물질로 소자 제작 시 생산단가를 높이는 주요 원인으로 작용함에 따라 대량생산에 부적합한 것으로 평가 받고 있다 [5,6]. 위와 같은 이유로 최근 생산 단가를 낮추고, 열․화학적으로 안정성이 우수한 TCO 물질에 대한 연구 필요성이 대두됨에 따라 ITO를 대체할 물질에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. | |
투명 전도성 산화막의 장점은? | 투명 전도성 산화막 (transparent conducting oxide, TCO)은 우수한 전기적 특성과 가시광선 영역의 높은 투과율, 넓은 에너지 밴드갭을 갖고 있는 장점 때문에 다양한 평판 디스플레이 (flat panel display), 태양전지의 윈도우 층 (window layer), 스마트 윈도우 (smart window), 각종 센서 등 광범위한 분야에 사용됨에 따라 많은 관심을 끌고 있다 [1-3]. 많은 재료들 중 현재는 낮은 비저항 (<1×10⁻⁴Ω․cm), 높은 일함수 (>4. | |
투명 전도성 산화막은 어디에 사용되는가? | 투명 전도성 산화막 (transparent conducting oxide, TCO)은 우수한 전기적 특성과 가시광선 영역의 높은 투과율, 넓은 에너지 밴드갭을 갖고 있는 장점 때문에 다양한 평판 디스플레이 (flat panel display), 태양전지의 윈도우 층 (window layer), 스마트 윈도우 (smart window), 각종 센서 등 광범위한 분야에 사용됨에 따라 많은 관심을 끌고 있다 [1-3]. 많은 재료들 중 현재는 낮은 비저항 (<1×10⁻⁴Ω․cm), 높은 일함수 (>4. |
C. G. Granqvist, and A. Hultaker, Thin Solid Films, 411, 1 (2002).
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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