$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

실리콘 산화막에서 저레벨누설전류 특성
The Characteristics of LLLC in Ultra Thin Silicon Oxides 원문보기

Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea = 전자공학회논문지, v.50 no.8, 2013년, pp.285 - 291  

강창수 (유한대학교 전자정보과)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

본 논문은 금속 산화물 반도체의 산화막 두께, 채널 폭과 길이에 따른 실리콘 산화막의 신뢰성 특성을 연구하였다. 스트레스전류와 전이전류는 스트레스 전압에 의하여 발생된다. 스트레스 유기 누설전류는 스트레스 전압 인가 동안과 인가 후의 실리콘 산화막에 나타난다. 이때 저레벨 스트레스 전압에 의한 저레벨 누설전류는 저전압 인가 동안과 인가 후의 얇은 실리콘 산화막에서 발생한다. 저레벨 누설전류는 각각 스트레스 바이어스 조건에 따라 스트레스전류와 전이전류를 측정하였다. 스트레스 채널전류는 일정한 게이트 전압이 인가동안 측정하였고 전이 채널전류는 일정한 게이트 전압을 인가한 후에 측정하였다. 본 연구는 소자의 구동 동작 신뢰성을 위하여 저레벨 스트레스 바이어스 전압에 의한 스트레스 전류와 전이전류가 발생되어 이러한 저레벨 누설전류를 조사하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, MOS-Capacitor and MOSFET devices with a Low Level Leakage Current of oxide thickness, channel width and length respectively were to investigate the reliability characterizations mechanism of ultra thin gate oxide films. These stress induced leakage current means leakage current caused...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • In the case of nondestructive testing of the oxides, the properties of unstressed oxides were first determined and were compared with the properties of oxides stressed at various levels. Current through the oxide was monitored in order to calculate the total charge that had passed through the oxide during the stress and the current to voltage measurements. Capacitors and transistors using n+ silicon gates were made on 2 to 5 ohm cm p-type silicon and 0.
  • The charge injection reliability has been involved with the measurement and characterization of leakage current initiated by the passage of tunneling currents through the oxide. The study have been the determination of the physical processes taking place in the oxides during stress on time and stress off time and the use of the knowledge of the physical processes for reliability in the polarity dependence of the interface trap generation, the number and distribution of traps in a stressed oxide measured using low level stress currents, low level transient currents the effect of different gate materials and gate oxide thicknesses.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (5)

  1. C. S. Kang, D. J. Dumin, "The Search for Cathode and Anode Traps in High Voltage Stressed Silicon Oxides", Journal of Elect. Society, Vol. 145, No. 4, pp. 1292-1296, 1998 

  2. J.C. Jackson, D.J. Dumin, "Electric Breakdowns and Breakdown Mechanisms in Ultrathin Silicon Oxides", Microelectronics Reliability, Vol. 39, pp. 171-179, 1999 

  3. Borkar, Ajay, Gaikwad, Snehal, "Leaky Deep Submicrometer Transistor Mechanism and It's Analytical Estimation", Advances in Computational Sciences & Technology, Vol. 4, pp. 239-242, 2011 

  4. Sune, Jordi, Jimenez, David Miranda, Enrique, "Breakdown Modes and Breakdown Statistics of Ultrathin SiO Gate Oxides", International Journal of High Speed Electronics & Systems, Vol. 11, Issue 3, pp. 789-848, 2011 

  5. Samantaray, Malay M., Gurav, Abhijit, Dickey, Elizabeth C., Randall, Clive A., Ching W.Y., "Electrode Defects in Multilayer Capacitors Part II : Finite Element Analysis of Local Field Enhancement and Leakage Current in Three Dimensional Microstructures", Journal of the American Ceramic Society, Vol. 95, pp. 264-268, 2012 

저자의 다른 논문 :

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로