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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.30 no.12, 2013년, pp.1327 - 1333
Air bearings are widely used in precision stages because of low friction and high motion accuracy, however, they suffer from low stiffness in comparison with rolling bearings or hydrostatic bearings. So, several preloading methods using weight, magnet and vacuum force, and opposing pads have been us...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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공기베어링 중 진공예압 방식은 무엇인가? | 자기예압 방식은 가이드 레일의 자성체와 테이블의 자석 사이에서 발생하는 자력에 의해 예압을 가하는 방법으로, 레일에 자성체를 덧붙여야 하며, 고속으로 구동시와전류에 의한 저항이 발생하는 단점이 있다. 진공예압 방식은 진공압을 이용하여 예압을 가하는 방법으로 저중심 설계가 필요한 평면 스테이지에 적합하다. 그러나 낮은 진공압에 의한 흡인력의 한계 및 진공을 위한 추가 장비가 필요하다는 단점이 있다. | |
공기베어링이 초정밀 스테이지에 널리 사용되는 이유는 무엇인가? | 초정밀 스테이지에 요구되는 운동정밀도가 높아짐에 따라 안내면의 베어링으로는 공기베어링이 널리 사용되고 있다. 공기베어링은 압축공기에 의해 부상하는 방식으로 공기의 점성이 낮아 마찰과열 발생이 거의 없고 평균화 효과에 인해 레일형상오차 이상의 정밀도를 달성할 수 있기 때문이다.1 그러나 공기막에 의해 부하를 지지하기 때문에 구름베어링이나 유정압 베어링에 비해 강성이 상대적으로 떨어지는 단점이 존재한다. | |
공기베어링의 단점은 무엇인가? | 공기베어링은 압축공기에 의해 부상하는 방식으로 공기의 점성이 낮아 마찰과열 발생이 거의 없고 평균화 효과에 인해 레일형상오차 이상의 정밀도를 달성할 수 있기 때문이다.1 그러나 공기막에 의해 부하를 지지하기 때문에 구름베어링이나 유정압 베어링에 비해 강성이 상대적으로 떨어지는 단점이 존재한다. 따라서 공기베어링에서는 일반적으로 예압을 가하여 강성을 향상시키고 있다. |
Slocum, A., "Precision Machine Design," Prentice- Hall International, Inc., pp. 580-589, 1992.
Nelson Air Corp., "Air Bearing Basics," http://www.nelsonair.com/NA_primer.htm (Accessed 18 Nov. 2013)
Wu, K. H. and Cusano, C., "Analysis of Externally Pressurized, Double-Pad, Gas Porous Thrust Bearing," ASME Journal of Lubrication Technology, Vol. 105, No. 1, pp.113-119, 1983.
Singh, K. C. and Rao, N. S., "Static Characteristics of Aerostatic Porous Rectangular Thrust Bearings," Wear, Vol. 77, No. 2, pp. 229-236, 1982.
New Way Air Bearings, "VPL Air Bearings," http://www.newwayairbearings.com/products/vpl-airbearings (Accessed 18 Nov. 2013)
Fan, P., Chu, J., and Shao, J., "Conductance Calculation of Long Tubes with Rectangular Cross Section and Annular Cross Section in the Full Pressure Range," Vacuum, Vol. 68, No. 4, pp. 373-378, 2002.
Roth, A., "Vacuum Technology, Third updated and enlarged edition," North Holland Publishing, pp. 62-88, 1990.
Bae, S. H., In, S. R., Jung, K. H., Lee, Y. B., and Shin, Y. H., "Vacuum Engineering," The Korea Economic Daily Business Publication, pp. 61-101, 2000
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