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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.31 no.8, 2014년, pp.697 - 703
신동원 (금오공과대학교 기계시스템공학과) , 윤장규 (금오공과대학교 기계공학과)
This paper is study of solving vibration problem occurred in moving hand of wafer transfer robot in semiconductor manufacturing line. Long settling time for decreasing vibration makes low production rate, and moreover the excessive vibration of hand sometimes breaks the wafer in a cassette. The ways...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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웨이퍼가 있는 상태란? | 이러한 작업 중에 웨이퍼가 있을 때의 이송과 없을 때의 이송의 두가지 경우가 발생한다. 웨이퍼가 있는 상태란 핸드에 웨이퍼를 장착하고 시작 카세트를 출발하여 도착 카세트 앞에서 정지하기까지의 상태이고, 웨이퍼가 없는 상태란 웨이퍼가 없이 도착 카세트를 출발하여 시작 카세트 앞에서 정지하기까지의 상태이다. | |
기구부의 구조변경의 단점은 무엇인가? | 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로 기구부의 구조를 변경하거나 모션프로파일을 입력성형하거나, 모션프로파일을 변경하는 방법이 있다.1-4 기구부의 구조변경은 비용이 많이 드는 경우가 많고 이미 개발된 장비에는 구조변경이 어렵다. 그래서 이미 개발된 장비의 진동을 줄이는 방법으로 모션프로파일을 성형하는 입력성형과 모션프로파일을 변경하는 방법이 지속적으로 연구되어 산업현장장비에 적용되고 있다. | |
산업현장에서 물건을 이송하거나 경로를 따라 이동하는 장비에 발생하는 진동의 문제점은 해결하는 방법은 어떤 것들이 있는가? | 산업현장에서 물건을 이송하거나 경로를 따라 이동하는 장비에 발생하는 진동은 물건을 파손하거나 생산품의 품질을 떨어뜨리고 생산속도에도 악영향을 미친다. 이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로 기구부의 구조를 변경하거나 모션프로파일을 입력성형하거나, 모션프로파일을 변경하는 방법이 있다.1-4 기구부의 구조변경은 비용이 많이 드는 경우가 많고 이미 개발된 장비에는 구조변경이 어렵다. |
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