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NTIS 바로가기Applied science and convergence technology, v.23 no.4, 2014년, pp.161 - 168
Joo, Junghoon (Department of Materials Science & Engineering & Plasma Materials Research Center, Kunsan National University)
A real-time monitoring of immersed antenna type inductively coupled plasma (ICP) was done with a homemade 2 dimensional voltage probe array to check the uniformity of the plasma. Measured voltage values with a high impedance voltmeter are close to the floating potential of the plasma. As the substra...
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