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박막형 열전 냉각 모듈 제작을 위한 디자인 모델 소개
Introduction to the Thin Film Thermoelectric Cooler Design Theories 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.31 no.10, 2014년, pp.881 - 887  

전성재 (한국기계연구원 나노역학연구실) ,  장봉균 (한국기계연구원 나노역학연구실) ,  송준엽 (한국기계연구원 초정밀연구실) ,  현승민 (한국기계연구원 나노역학연구실) ,  이후정 (성균관대학교 신소재공학부)

초록
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Peltier 효과를 이용한 박막형 열전 냉각 모듈열전 재료에 의한 열 출입의 방향에 따라서 수직형 구조와 수평구조로 나누어진다. 이와 같은 박막형 열전 냉각 모듈의 성능은 기존의 벌크 형태의 냉각 모듈을 평가하기 위해 사용하는 모델을 이용하여 측정할 수 있다. 우리가 제조한 열전 박막을 모델에 적용하여 열전재료의 길이 변화에 따른 열 방출 성능을 평가 하여 보았다. 재료의 성능이 향상됨에 따라서 동일한 열 전기적 저항에서 최대 열 방출 성능은 $73.9W/cm^2$에서 $131.2W/cm^2$으로 크게 증가하는 것을 알 수 있었다. 또한 방사 형태로 $10{\mu}m$ 두께의 열전 재료와 전극들이 두께가 각기 다른 기판 위에 형성된 수평형 냉각 모듈을 설계하여 $10{\mu}m$ 두께의 $SiO_2$ 멤브레인 위에 열전재료가 형성된 열전 모듈에서 22 K의 온도 차를 해석결과로부터 알 수 있었다. 이와 같은 결과로부터 열전 재료의 특성과 모듈의 열 전기적 저항은 필연적으로 짧은 열전 재료의 길이와 두께를 갖는 박막형 열전 모듈을 높은 효율의 모듈로 설계하기 위해 반드시 고려되어 되어야 할 요소임을 확인 할 수 있다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Micro-sized Peltier coolers are generally employed for uniformly distributing heat generated in the multi-chip packages. These coolers are commonly classified into vertical and planar devices, depending on the heat flow direction and the arrangement of thermoelectric materials on the used substrate....

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 이와 같은 열전 냉각 모듈의 디자인 요소들이 적용된 박막형 열전 냉각 모듈의 디자인 모델을 소개하고 co-sputtering 기법으로 제작된 열전 재료의 특성 값과 열ㆍ전기적 접촉 저항 요소를 모델에 적용하여 간단하게 평가하였다.8그리고, 8 쌍의 열전재료로 구성된 수평형 박막형 열전소자를 설계하여 기판의 두께 차이에 의한 열전 효과를 해석하였다.

가설 설정

  • 96×10-3 K-1인 값을 갖는 두 가지 종류의 열전 박막의 물성 값을 수식(3)과 (4)에 적용하여 계산하였다.8 두 가지 다른 열전 물성 값을 갖는 열전 박막을 이용하여 열전 냉각 모듈을 제작한다고 가정하여, 열전 재료의 길이 l에 대한 열방출 성능을 계산해 보면 Fig. 2와 같이 나타낼 수 있다. 이때 사용한 전기 저항을 나타내는 변수 n은 0.
  • 온도 경계 조건은 모듈의 중앙부로부터 가장 먼 경계 온도를 297 K로 고정하고 그 밖의 경계에 대해서는 단열 조건으로 하였다. 모듈의 전극에 동일한 전류를 흘려주는 것으로 가정하여 각각 모듈에서의 냉각 효과 ∆T를 유한요소 해석을 수행하였다.
  • 수평형 열전 모듈은 Fig. 7과 같이 n형 열전재료는 Bi2Te3, p형 열전재료는 Sb2Te3, 그리고 전극은 Cu로 가정하였다. p형과 n형의 열전 쌍은 총 8 개로 구성하고 각각 열전 재료는 Cu 전극으로 연결되어, 모듈의 중앙부분에서 가장자리로 열 방출이 발생하도록 하였다.
  • 기판의 두께의 영향에 따른 수평형 열전소자의 성능을 비교하고자 표 1과 같은 재료 물성을 갖는 모듈을 설계하여 성능 해석을 실시하였다. 열전 현상을 나타내는 지배방정식은 열 방출을 위한 범프와 2 쌍의 열전재료들을 배치하여 설계한 Multi-Chip Module을 가정하여 수행한 해석과 동일한 수식을 사용하였다.11
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
수평형 모듈의 장점은? 하지만 열전재료와 금속전극과 접합 공정이 필요하고 열전 소자의 부피가 기판과 열전재료의 두께로 인하여 커질 수 있는 단점이 있다. 수평형 모듈의 경우, 기판이 한쪽만 존재하기 때문에 부피를 작게 할 수 있어 열이 발생하는 부분에 직접 부착하여 열의 출입을 조절 할 수 있고 접합 공정이 없기 때문에 제작이 용이하다. 하지만, 열전 재료뿐만 아니라 기판으로도 열의 이동이 이루어져 냉각 효율이 좋지 못하다는 단점이 있다.
Peltier 효과를 이용한 박막형 열전 냉각 모듈은 열전 재료에 의한 열 출입의 방향에 따라 어떻게 구분하는가? Peltier 효과를 이용한 박막형 열전 냉각 모듈은 열전 재료에 의한 열 출입의 방향에 따라서 수직형 구조와 수평구조로 나누어진다. 이와 같은 박막형 열전 냉각 모듈의 성능은 기존의 벌크 형태의 냉각 모듈을 평가하기 위해 사용하는 모델을 이용하여 측정할 수 있다.
수직형 모듈의 단점은? 각각의 모듈은 장ㆍ단점이 있는데, 수직형의 경우 열의 흐름이 기판과 수직적으로 이루어지기 때문에 열전 재료를 통해서만 열이 출입되어 모듈의 효율이 좋다. 하지만 열전재료와 금속전극과 접합 공정이 필요하고 열전 소자의 부피가 기판과 열전재료의 두께로 인하여 커질 수 있는 단점이 있다. 수평형 모듈의 경우, 기판이 한쪽만 존재하기 때문에 부피를 작게 할 수 있어 열이 발생하는 부분에 직접 부착하여 열의 출입을 조절 할 수 있고 접합 공정이 없기 때문에 제작이 용이하다.
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참고문헌 (11)

  1. Snyder, G. J. and Toberer, E. S., "Complex Thermoelectric Materials," Nature Materials, Vol. 7, No. 2, pp. 105-114, 2008. 

  2. Rowe, D. M., "Thermoelectric Module Design Theories," in Thermoelectrics Handbook; Macro to Nano, CRC Taylor & Francis, 2006. 

  3. Rowe, D. M., "Miniaturized Thermoelectric Converters," in Thermoelectrics Handbook; Macro to Nano, CRC Taylor & Francis, 2006. 

  4. Glatz, W., Schwyter, E., Durrer, L., and Hierold, C., " $Bi_2Te_3$ -based Flexible Micro Thermoelectric Generator with Optimized Design," Journal of Micro electromechanical Systems, Vol. 18, No. 3, pp. 763-772, 2009. 

  5. Rowe, D. M., "Miniaturized Thermoelectric Converters, Technologies, and Applications," in Thermoelectrics and its Energy Harvesting; Modules, Systems, and Applications in Thermoelectrics, CRC Taylor & Francis, 2012. 

  6. Gross, A. J., Hwang, G. S., Huang, B., Yang, H., Ghafouri, N., et al., "Multistage Planar Thermoelectric Microcoolers," Journal of Micro electromechanical Systems, Vol. 20, No. 5, pp. 1201-1210, 2011. 

  7. Ioffe, A. F., "Semiconductor Thermoelements and Thermoelectric Cooling," Infosearch Ltd., 1956. 

  8. Jeon, S.-j., Oh, M., Jeon, H., Kang, S. D., Lyeo, H.-K., et al., "Microstructure Evolution of Sputtered Bi-Te Films during Post-Annealing: Phase Transformation and Its Effects on the Thermoelectric Properties," Journal of The Electrochemical Society, Vol. 158, No. 8, pp. H808-H813, 2011. 

  9. Min, G. and Rowe. D. M., "Cooling Performance of Integrated Thermoelectric Microcooler," Solid-State Electronics, Vol. 43, No. 5, pp. 923-929, 1999. 

  10. Min, G., Rowe, D. M., Assis, O., and Williams, S. G. K., "Determining the Electrical and Thermal Contact Resistances of a Thermoelectric module," Proc. of the 11th International Conference on Thermoelectrics, pp. 210-212, 1992. 

  11. Jang, B., Hyun, S., Kim, J.-H., and Lee, H.-J., "Simulation of Thermal Design and Thermoelectric Cooling for 3D Multi-chip Packaging," Proc. of KSPE Autumn Conference, pp. 711-712, 2009. 

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