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[국내논문] 초소형 전자빔을 이용한 멀티 전자빔 운영 시스템 설계
Operating System Design of Multi Beam Control System with Miniaturized Electron Beam Columns 원문보기

한국레이저가공학회지 = Journal of korean society of laser processing, v.18 no.4, 2015년, pp.12 - 16  

임선종 (한국기계연구원 광응용기계실) ,  김호섭 (선문대학교 나노과학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The research on multi electron beam systems is being carried out by various methods. We are studying multi electron beam system using miniaturized electron beam columns. The column consists of electrostatic lenses, electrostatic deflector and tip emitter. Our operating system controls 4 column array...

주제어

#전자빔 시스템   #초소형 전자빔 컬럼   #다중 빔 운영 시스템   #정전기 렌즈   #정전기 스캔장치  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문은 초소형 전자 컬럼을 이용한 멀티 전자빔 제어 시스템의 설계와 성능 실험의 결과를 보였다. 성능 실험에 대한 결론과 향후 연구 내용은 아래와 같다.
  • 본 연구는 정전기 렌즈를 가진 초소형 전자 컬럼을 이용한 다중 전자빔 시스템의 운영 시스템 설계를 제시하고 있다. 이 설계는 단일 전자빔을 가진 단일 컬럼 방식의 다중 전자빔 시스템에 대한 한 예제가 될 수 있다.

가설 설정

  • (3) 검사 기능에서 중요한 조건은 영상 동일성이다. 영상의 동일성을 위해서는 전자 광학 계 및 제어계의 특성이 동일해야 한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
다중 전자빔 제어 시스템의 H/W은 어떻게 구성되는가? 다중 전자빔 제어 시스템의 H/W는 main controller 및 column controller로 구성된다. Fig.
다중 전자빔 제어 시스템의 Column controller는 무엇을 제어하여 영상을 흭득하는가? Column controller는 SEM(Scanning electron microscopy) 기능을 갖는다. EGPS(Electron Gun Power Supply), deflector및 scan pulse generator를 제어해 영상을 획득한다. EGPS는 beam source, source lenses 및 Einzel lenses에 전압을 공급한다.
전자빔 검사 장비는 어떤 방식으로 연구가 진행되고 있는가? 전자빔 검사 장비는 생산성 향상을 위해 단일 빔을 가진 단일 컬럼 방식에서 다중 빔 방식으로 연구가 진행되고 있다. 1-4 다중 빔 방식은 다중 빔을 가진 다중 컬럼 방식, 다중 빔을 가진 단일 컬럼 컬럼 방식 및 단일 빔을 가진 다중 컬럼 방식으로 나누어진다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (5)

  1. Osamu, K., Hiroya, O., Sayaka, T., Makoto, S., Yoshinori, N., Yasunari, S., Masato, M., Susumu, G., Masaki, H., Yasuhiro, S., Kenji, T., Futoshi, H., Kenichi, N., Kazuhiko, K., Isamu, S., Masamichi, K. and Masahiko,O., "Dynamic blanking control of single column multi-electron-beam system," Physics Procedia 1, pp. 545-552, 2008. 

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  2. Chang, T. H. P., Muray, L. P., Staufer, U and Kern, D, P., "Arrayed miniature electron beam columns," Microelectronic Engineering 21, pp. 129-140, 1993. 

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  3. Mohammadi-Gheidari, A and Kruit, P., "Electron optics of multi-beam scanning electron microscope," Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 645, pp. 60-67, 2011. 

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  4. Sanini, R., Jandric, Z., Tsui, K., Udeshi, T and Tuggle, D., "Manufacturable MEMS microcolumn," Microelectronic Engineering 78-79, pp. 62-72, 2005. 

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  5. Taesik, O., Hoseob Kim., Seungjoon, Ahn. And Daewook, Kim., "Design of an ultra-miniaturized electron optical microscolumn with sub-5 nm very high resolution," Ultramicroscopy 136, pp. 171-175, 2014. 

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