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NTIS 바로가기한국레이저가공학회지 = Journal of korean society of laser processing, v.18 no.4, 2015년, pp.12 - 16
임선종 (한국기계연구원 광응용기계실) , 김호섭 (선문대학교 나노과학과)
The research on multi electron beam systems is being carried out by various methods. We are studying multi electron beam system using miniaturized electron beam columns. The column consists of electrostatic lenses, electrostatic deflector and tip emitter. Our operating system controls 4 column array...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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다중 전자빔 제어 시스템의 H/W은 어떻게 구성되는가? | 다중 전자빔 제어 시스템의 H/W는 main controller 및 column controller로 구성된다. Fig. | |
다중 전자빔 제어 시스템의 Column controller는 무엇을 제어하여 영상을 흭득하는가? | Column controller는 SEM(Scanning electron microscopy) 기능을 갖는다. EGPS(Electron Gun Power Supply), deflector및 scan pulse generator를 제어해 영상을 획득한다. EGPS는 beam source, source lenses 및 Einzel lenses에 전압을 공급한다. | |
전자빔 검사 장비는 어떤 방식으로 연구가 진행되고 있는가? | 전자빔 검사 장비는 생산성 향상을 위해 단일 빔을 가진 단일 컬럼 방식에서 다중 빔 방식으로 연구가 진행되고 있다. 1-4 다중 빔 방식은 다중 빔을 가진 다중 컬럼 방식, 다중 빔을 가진 단일 컬럼 컬럼 방식 및 단일 빔을 가진 다중 컬럼 방식으로 나누어진다. |
Osamu, K., Hiroya, O., Sayaka, T., Makoto, S., Yoshinori, N., Yasunari, S., Masato, M., Susumu, G., Masaki, H., Yasuhiro, S., Kenji, T., Futoshi, H., Kenichi, N., Kazuhiko, K., Isamu, S., Masamichi, K. and Masahiko,O., "Dynamic blanking control of single column multi-electron-beam system," Physics Procedia 1, pp. 545-552, 2008.
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