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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B, v.39 no.4 = no.355, 2015년, pp.309 - 316
김택영 (한국산업기술대학교 기계공학과) , 강창훈 (한국산업기술대학교 기계공학과) , 신윤섭 (한국산업기술대학교 기계공학과) , 김태수 (한국산업기술대학교 기계공학과) , 최선호 (한국산업기술대학교 기계공학과)
Numerical analysis and experimental verification of a thermal liquid mass flow meter (LMFM) were performed. The configuration of the LMFM was the same as a gas mass flow meter (GMFM), but the opposite results in temperature difference between upstream and downstream thermistors occurred. In the case...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 생산공정에서 기체유량의 정밀계측을 위해 무엇을 사용하는가? | 반도체 생산공정 중 기체와 액체유량의 정밀 계측 및 공급제어는 매우 중요하며, 한 공정라인에 100 개가 넘는 질량유량제어기(MFC, Mass Flow Controller)를 사용한다. 일반적으로 반도체 생산공정에서 기체유량의 정밀계측을 위하여 가열식 질량유량계(1~3)를 사용하고, 액체에 대하여는 코리올리 힘을 이용하여 계측하는 유량계(4~6)를 사용한다. 코리올리 방식은 유체가 흐르는 얇은 관을 지속적으로 진동시키고, 가진 주파수의 원 위상과 액체유동으로 인하여 발생하는 위상변화의 차를 측정함으로써 질량유량을 계측한다. | |
질량유량제어기는 무엇을 제어하는가? | 반도체 생산공정 중 기체와 액체유량의 정밀 계측 및 공급제어는 매우 중요하며, 한 공정라인에 100 개가 넘는 질량유량제어기(MFC, Mass Flow Controller)를 사용한다. 일반적으로 반도체 생산공정에서 기체유량의 정밀계측을 위하여 가열식 질량유량계(1~3)를 사용하고, 액체에 대하여는 코리올리 힘을 이용하여 계측하는 유량계(4~6)를 사용한다. | |
코리올리 방식의 질량유량계가 고가인 이유는 무엇인가? | 코리올리 방식은 유체가 흐르는 얇은 관을 지속적으로 진동시키고, 가진 주파수의 원 위상과 액체유동으로 인하여 발생하는 위상변화의 차를 측정함으로써 질량유량을 계측한다.(3,4) 이에 따라 지속적으로 작동하는 부품이 존재하므로 내구성과 신뢰성이 제작의 중요한 요소이며 구조도 복잡하고 고가이다. 본 연구에서는 신뢰성이 우수한 기존의 GMFM 과 동일한 구조를 적용한 LMFM 에 대하여 수치해석을 수행하고 그 결과를 이론적으로 분석함으로써 실용성을 검토하였으며, LMFM 시작품을 제작하고 실험을 통하여 이론분석 내용을 검증하였다. |
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