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홀 센서와 포토 센서를 이용하는 선형 스테이지에서 위치결정 비교 실험
The Position Decision Comparison Experiment of Hall and Photo Sensors in the Linear Stage 원문보기

제어·로봇·시스템학회 논문지 = Journal of institute of control, robotics and systems, v.21 no.2, 2015년, pp.157 - 161  

차영엽 (원광대학교 기계자동차공학부, 공업기술개발연구소)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

For machining systems having a high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of reference position decisions. Though ball-screw driven linear stages equipped with encoders have high precision feed drivers and a long stroke, they have some limitations for...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 위치제어 시스템으로 사용되는 선형 스테이지의 리미트 센서와 홈센서로 많이 사용되는 포토 센서와 홀 센서의 위치 결정 정밀도의 비교에 대한 것이다. 서 브 미크론의 분해능을 가진 capacitive prove를 이용한 실험을 하였고, 최종 홈 위치선정에서는 포토 센서는 약 ±3μm, 홀 센서는 약 ±5μm의 정밀도를 가지는 것을 알 수 있었다.
  • 또한 홀 센서는 영구자석에 코일을 감아 도체에 가까이 가면 전압이 발생하는 자기유도작용의 원리를 이용한 것이다. 본 논문에서는 위치제어 시스템으로 사용되는 선형 스테이지의 리미트(limit) 센서와 홈(home) 센서로 많이 사용되는 포토 센서와 홀 센서의 위치 결정 정밀도 비교 실험에 대한 것이다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
포토 센서는 무엇인가? 포토 센서는 빛 에너지를 전기 에너지로 변환하는 일종의 트랜스듀서로서 빛과 물질 사이에는 물리적 상호 작용이 존재한다. 즉, 물질이 광자를 흡수하고 그 결과 전자를 방출하게 되는데 이 현상을 광전효과라고 한다.
볼나사 구동 스테이지의 장점은? 공작 기계, 계측기기, 광산업, 가전기기, 반도체 공정장비 분야에서 위치 제어 시스템은 널리 쓰이고 있다. 특히 볼나사 구동 스테이지의 경우, 높은 강성과 상대적으로 낮은 가격으로 인해 위치 제어 시스템에 많이 쓰이고 있다. 그러나 볼나사의 비선형성과 위치에 따라 변하는 마찰특성, 구동부의 위치 피드백을 위한 센서 분해능, 홈센서의 정밀도 등으로 인해 위치 정밀도를 높이는데 한계가 있다.
포토 센서는 무슨 현상을 이용한 것인가? 포토 센서는 빛 에너지를 전기 에너지로 변환하는 일종의 트랜스듀서로서 빛과 물질 사이에는 물리적 상호 작용이 존재한다. 즉, 물질이 광자를 흡수하고 그 결과 전자를 방출하게 되는데 이 현상을 광전효과라고 한다. 광전효과 를 이용한 광전 스위치는 빛을 내는 발광부와 그 빛이 대상물에 의해서 반사, 투과, 흡수, 차광 등의 변화를 인지하 는 수광부에서 on/off신호를 내는 것이다.
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참고문헌 (11)

  1. J. S. Chen, K. C. Chen, Z. C. Lai, and Y. K, Huang, "Friction characterization and compensation of a linear motor rolling guide stage," International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 43, pp. 905-915, 2003. 

  2. C. Hsieh and Y. C. Pan, "Dynamic behavior and modeling of the pre-sliding static friction," Wear, vol. 242, pp. 1-17, 2000. 

  3. Omron Korea Homepage, http://www.ia.omron.co.kr 

  4. "Position sensor and proximity switch update," Chilton's I & C S : the industrial and process control magazine, vol. 57, no. 7, pp. 22-28, 1984. 

  5. B. Chen, G. Lu, and R. Hao, "Intelligent speed and mileage measurement system for vehicles based on hall sensor," Education Technology and Computer Science, 2009. ETCS '09. First International Workshop, vol. 2, pp. 272-274, 2009. 

  6. Y. Y. Cha, "The position decision comparison experiment of photomicrosensor and magnetic sensor in ball-screw driven linear stage," 2014 ICROS Jeonbuk and Jeju Regional conference (in Korean), vol. 1, pp. 253-256, 2012. 

  7. E. H. Hall, "On a new action of the magnet on electric currents," American Journal of Mathematics, vol. 2 no. 3, pp. 287-292, 1879. 

  8. Parker Hannifin Co. Homepage, http://www.parker.com 

  9. Omron Homepage, http://www.omron.com 

  10. Hamlin Co. Homepage, http://www.hamlin.com 

  11. Mti Instruments Homepage, http://www.mtiinstruments.com 

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